
- 2025-02-18 10:57:02三离子束研磨仪
- 三离子束研磨仪是一种高精度的材料加工设备,它利用三束离子同时作用于材料表面,实现高效、精确的研磨和抛光。该设备具有加工精度高、表面质量好、适用范围广等特点,能够处理各种硬度和材质的材料。三离子束研磨仪在半导体、光学、材料科学等领域有着广泛应用,是科研和工业生产中不可或缺的重要工具。通过精确控制离子束的参数,用户可以实现对材料表面的纳米级加工。
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三离子束研磨仪文章
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- 仪器介绍 | 徕卡EM TIC 3X三离子束研磨仪
- 使用传统磨抛技术时,样品受到形变或机械损伤的可能性,会掩盖样品内部真实的结构信息,而针对这一问题,离子束研磨技术利用氩离子轰击的方式可获得高质量切割截面或抛光平面,避免机械损伤,获得高质量样品表面。
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- 温馨提示 | 放假期间徕卡三离子束切割仪EM TIC 3X放置注意事项
- 为了让您的设备在长时间停机后,方便在开始工作时能快速恢复正常使用状态,在放假之前请做好以下安排:
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- 徕卡 EM TIC 3X三离子束研磨仪
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上海净信实业发展有限公司
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三离子束研磨仪问答
- 2024-05-27 09:56:03国产研磨仪的新标准
- 上海喆孚实业有限公司是专业的振荡培养箱(摇床)、组织研磨仪、分析筛分仪生产厂家。公司集研发、生产、 销售和服务于一体,专营各类振荡培养箱、组织研磨仪、分析筛分仪等产品。广泛应用于全国各大高校、卫生医 疗、农业环保、科研院所等单位。为微生物、病毒、细菌培养、发酵、杂交和生物化学反应及细胞组织等研究提 供了有效的帮助。 公司以“技术创新,服务至上”为宗旨,以品质管理为基石,采用现代化的管理、先进的设计理念,不断培养 吸收优秀的科研、技术人才,为产品的研发、质量提供了有效的保证,力争为用户提供高品质的产品。 在国内外广大用户和合作伙伴的支持下,贸易稳健发展,在行业内也建立了良好的声誉。公司产品在高校及研 究院用户有:清华大学、北京大学、四川大学、复旦大学、华东理工大学、华中农业大学、武汉大学、华中科技 大学、中科院系统、同济医院等;企业用户有:安琪酵母、药明康德、华北制药、袁创超级稻等一大批著名企事 业单位。公司在全国20个省、市、区建立了产品代理经销及售后服务网路。 今后公司将持续坚持走科技兴业的道路,一如既往地发扬“求真务实、锐意进取、不断创新”的精神。
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- 2022-11-25 16:10:30离子束刻蚀(IBE)技术研究
- 离子束刻蚀(IBE)技术研究 1.离子束刻蚀(IBE)技术的原理?离子束刻蚀(IBE,Ion Beam Etching)也称为离子铣(IBM,Ion Beam Milling),也有人称之为离子溅射刻蚀,是利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子,氩离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击,以达到刻蚀的作用。刻蚀过程即把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体,然后由栅极将离子呈束状引出并加速,具有一定能量的离子束进入工作室,射向固体表面轰击固体表面原子,使材料原子发生溅射,达到刻蚀目的,属纯物理刻蚀。工件表面有制备沟槽的掩膜,最后裸露的部分就会被刻蚀掉,而掩膜部分则被保留,形成所需要的沟槽图形。离子束刻蚀使高方向性的中性离子束能够控制侧壁轮廓,优化纳米图案化过程中的径向均匀性和结构形貌。另外倾斜结构可以通过倾斜样品以改变离子束的撞击方向这一独特能力来实现。在离子束刻蚀过程中,通常情况下,样品表面采用厚胶作为掩模层,刻蚀期间富有能量的离子流会使得基片和光刻胶过热。为了便于后面光刻胶的剥离清洗,一般需要对样品台进行冷却处理,使整个刻蚀过程中温度控制在一个比较好的范围。 图1 离子束刻蚀设备结构图图2 离子束刻蚀工艺原理图 2.离子束刻蚀(IBE)适合的材料体系?可用于刻蚀加工各种金属(Ni、Cu、Au、Al、Pb、Pt、Ti等)及其合金,以及非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、聚合物、陶瓷、红外和超导等材料。目前离子束刻蚀在非硅材料方面优势明显,在声表面波、薄膜压力传感器、红外传感器等方面具有广泛的用途。 3. 离子束刻蚀(IBE)技术的优点和缺点?a 优点: (1)方向性好、无钻蚀、陡直度高; (2)刻蚀速率可控性好,图形分辨率高,可达0.01um; (3)属于物理刻蚀,可以刻蚀各种材料(Si、SiO2、GaAs、Ag、Au、光刻胶等); (4)刻蚀过程中可改变离子束入射角来控制图形轮廓,加工特殊的结构;b 缺点: (1)刻蚀速率慢、效率比ICP更低; (2)难以完成晶片的深刻蚀; (3)属于物理刻蚀,常常会有过刻的现象。 4.反应离子束刻蚀(RIBE)技术简介及优点?反应离子束刻蚀(RIBE)是在离子束刻蚀的基础上,增加了腐蚀性气体,因此它不但保留了离子束物理刻蚀能力,还增加了腐蚀性气体(氟基气体、O2)离化后对样品的化学反应能力(反应离子束刻蚀:RIBE),也支持腐蚀性气体非离化态的化学辅助刻蚀能力(化学辅助离子束刻蚀:CAIBE),对适用于化学辅助的材料可以大幅度提升刻蚀速率,提高刻蚀质量。 5. 离子束刻蚀(IBE)的案例展示 典型应用:1、三族和四族光学零件2、激光光栅3、高深宽比的光子晶体刻蚀4、在二氧化硅、硅和金属上深沟刻蚀5、微流体传感器电极6、测热式微流体传感器
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- 2022-08-16 21:44:30福州大学离子束刻蚀机顺利验收
- 福州大学离子束刻蚀机顺利验收烈日炎炎,热情满心间!后疫情时代,NANO-MASTER工程师步履不停,一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学,那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机!性能配置:离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质,z大可支持6”晶圆。配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪,650mA,100-1200V。刻蚀速率:~250A/min对Au;刻蚀均匀度:对4”片,片内均匀性优于±3%,重复性优于±3%。样品台可旋转,转速0-30RPM精确可控;可任意角度倾斜,支持斜齿刻蚀;带水冷功能,刻蚀后易去除光刻胶。极限真空12小时可达6x10-7Torr,15分钟可达10-6Torr量级的真空;采用双真空计,长期可靠,使用稳定。14”不锈钢立方腔体,配套一台主控计算机,20”触摸屏监控,配合Labview软件,实现计算机全自动工艺控制,并可在电源中断情况下安全恢复;完全的安全联锁;支持百级超净间使用。验收培训:安装调试视频:
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- 2022-07-18 17:14:53如何避免冷冻研磨仪温度升高?常见的三种冷冻研磨仪控温原理解密
- 介绍冷冻研磨仪的三种控温原理 冷冻研磨仪是在常规实验室球磨机基础上加入控温处理的样品研磨前处理仪器,可实现样品在低温环境或室内恒温环境下的精细研磨。常见的有低温行星球磨机、低温振动球磨机、低温组织研磨仪。 冷冻研磨仪在运行时,研磨球在球磨罐中会发生高频次撞击和摩擦,产生不少热量,从而使得球磨罐内部温度升高。研磨时间越长,产生的热量越多。而一些热敏性、纤维性的样品,在温度升高后,其特性就会发生改变,所以要在研磨时对其进行控温。 冷冻研磨仪的控温原理方式分为三种,分别为风冷型控温、预冷冻控温和水冷型控温,因此又被称为低温研磨仪,是在常规实验室球磨机基础上加入控温处理的样品研磨前处理仪器。冷冻研磨可实现样品在低温环境或室内恒温环境下的精细研磨。常见的有低温组织研磨仪,适用于热敏性、热塑延展性、纤维性、含糖性等样品的研磨。 其应用领域涵盖范围广如电子材料、生物、环境农业、饲料、纺织造纸、化工制药等行业,如纳米材料制备、少量动植物样品的细胞壁破碎、恒温固相球磨反应、中药材研磨、植物种子及根茎叶无污染。 冷冻研磨仪设备的运转和研磨球的旋转能够对试品造成高韧性的混和效用。同一水平的反复运动能够确保试品效用的重现性,轴向弧形运转能够充足研磨试品,水平运动能够确保高频率输出,提升样本研磨的高效率。因为圆球的惯性力,应用研磨球研磨乃至能够进一步的提高混和效果。在应用研磨球进行样本研磨时,生物细胞都能够被摆脱,而且球中间的磨擦和球的冲击性能够合理地造成体细胞破裂。 冷冻研磨仪对样品研磨处理的应用较为广泛,其可对纳米材料的制备、少量动植物样品的细胞壁破壁、固相球磨反应、中药研磨、植物种子和根茎叶无污染研磨等等操作。其可对样品造成高效的混合应用,对样品研磨的重复性好,同时可大批量的研磨样品,且研磨时间短。 在研磨设备的运转过程中,磨球在球磨罐内的高频率冲击与摩擦,可产生大量的热量,使磨罐内的温度升高,但温升的出现会使试样的成分发生变化,其磨研时间越长,热量越多;为避免样品在研磨过程中出现性质的变化,因此需要其研磨环境的温度进行控制,避免温升的出现。 避免温升出现的方法操作,无法是将其试样及离心管适配器在液氮中进行液氮,快速研磨试样,减少样品研磨时间;或者应用冷冻研磨设备,使其研磨环境始终处于低温环境,避免了温升出现的状况。 冷冻研磨仪对温升的控制原理可分别分为风冷温度控制、预冷冻温度控制和水冷温度控制三种,因此又称为低温研磨机。其组织研磨设备主要是在传统实验室球磨机的基础上增加温度控制处理的样品研磨预处理仪器,使其低温冷冻研磨法能够实现样品在低温环境或室内恒温条件下的细磨和其低温研磨,使其冷冻组织研磨仪在对热敏性、热塑性延展性、纤维性、含糖性等难研磨样品前可正常操作对试样的前处理实验分析。
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- 2022-09-15 11:38:48叶绿素研磨仪对浮游植物样品的叶绿素提取测定
- 叶绿素研磨仪适用于对水质叶绿素a的测定分光光度法的实验应用,同时也是环境监测站、水文水资源等对水质监测检测的常备实验设备;主要是用于对浮游植物叶绿素a的检测提取。 叶绿素a本身对环境无害,但它是估计浮游植物生物量的重要指标,通过对其浮游植物叶绿素a含量的检测,可掌握水体的初级生产力情况和富营养化水平;因此在环境监测中,叶绿素a的含量也是评价水体富营养化的指标之一。 叶绿素研磨仪可适用于对生物样品的快速裂解组织匀浆,提取核酸RNA/DNA和蛋白质,酵母/细胞的裂解,药物活性成分APIs提取,食品残留农药或有毒物质样品的处理,PCR(聚合酶链反应)快速研磨制备等等。 把样品组织和磨球同时放入球磨罐中,利用研磨设备系统开启的高频摆动作用,磨球可在高速运转中与样品组织碰撞和摩擦,导致样品组织被研磨、破碎、混合可在几秒到几分钟内轻松实现对样品的实验前处理操作。 常用来检测测定叶绿素的方法便是分光光度法,应用三色方程664nm、647nm、630nm、750nm的吸光计算叶绿素a.b.c叶绿素的含量;单色方程测定了脱镁叶绿素A校正后的含量。 叶绿素研磨仪研磨设备的高通量处理,大大提高了实验的工作效率,不但可用于对细胞破碎、细胞破裂,还可用于提取植物样品中核酸和蛋白质分析成分的应用。另外,对于热敏感生物样品的前处理还可选低温配件进行低温研磨。为确保样品研磨前处理的重现性、有效性和可比性,在对研磨设备进行参数设置时,需保证同一样品的研磨条件相同。
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