2025-06-10 01:02:52晶圆甩干机
晶圆甩干机是一款专业的半导体生产设备,主要用于晶圆清洗后的干燥处理。它采用高速旋转的方式,利用离心力将晶圆表面的水分迅速甩干,确保晶圆表面的清洁度和干燥度。该设备具有操作简便、干燥效率高、对晶圆无损伤等特点,广泛应用于半导体制造、集成电路生产等行业。通过晶圆甩干机,可以提高生产效率,保证产品质量,是半导体生产中不可或缺的重要设备。

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2025-03-06 18:33:31U-III表面粒子计数器如何检测半导体晶圆的颗粒???
U-III表面粒子计数器如何检测半导体晶圆的颗粒???
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2022-08-18 14:32:14晶圆清洗机主要结构特点及工艺流程
 一.产品结构晶圆清洗机主要结构特点:1、采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业2、采用第三代技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落3、全自动补液技术4、*的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕5、成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身6、彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置多工艺方式转换二.产品特点晶圆清洗机具有以下特点:1、械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。2、PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。3、自动上下料台,准确上卸工件。4、净化烘干槽,*的烘干前处理技术,工作干燥无水渍。5、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。6、具备抛动清洗功能,保证清洗均匀。7、全封闭清洗均匀。8、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。三、晶圆清洗机工艺流程    自动上料→去离子水+超声波清洗+振动筛抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→自动下料四、晶圆清洗机应用范围1、炉前清洗:扩散前清洗。2、光刻后清洗:除去光刻胶。3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物
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2021-05-20 10:03:16SEMITOOL/国产甩干机技术要求
SEMITOOL产品中的SRD旋转冲洗甩干机是根据国内半导体产业的发展和市场需求,研究开发的旋转冲洗甩干设备。该机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。本系列机型可以适应从φ25mm 到φ200mm直径(包括方形和其它特殊形状)片式材料的旋转冲洗甩干工艺。可用于半导体晶片、砷化镓材料、掩膜版、太阳能电池基片、蓝宝石、铌酸锂、光学镜片、磁盘、光盘、医用玻璃基片等类似材料的高洁净度冲洗甩干。是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主流设备之一。  SEMITOOL psc-101旋转清洗干燥机描述:SEMITOOL psc-101旋转清洗干燥机采用去离子水冲洗和加热的氮气干燥全自动晶片衬底后的湿化学方法。有两个双层干衣机和洁净室中一堆烘干机。该系统使用一个可编程的方法来自动处理晶圆。规格/性能:一种电阻率探针可监测浴中的化学浓度,以确保去除化学品。无点式干燥氮气加热器。可编程的程序包括漂洗,质量冲洗,清洗,和干燥周期。支持样本量:大晶片直径:200毫米(8英寸)晶圆直径:75毫米(3英寸),100毫米(4英寸),150毫米(6英寸),和200毫米(8英寸)。掩模尺寸:125毫米(5英寸),150毫米(6英寸)。典型应用:晶圆和掩模板的清洗和干燥。 一、主要达到的技术性能指标1.电源及电气控制安全性技术要求1.1 电压:AC220V/110V1.2 频率:50Hz±1Hz1.3 功率:3kW1.4 整机绝缘电阻大于2MΩ(用1000V兆欧表测)1.5 各功能开关、按键、安全互锁功能、紧急开关应使用灵活、动作可靠。1.6 设备表面平整、光滑、色调一致。设备内、外各种安全、警告标志齐全。1.7 在设备接**志处可靠接地。2.使用氮气的相关安全性技术要求2.1 使用氮气压力:         0.23~0.28MPa(Max)2.2 使用氮气耗量:         200~280L/min  (单腔)2.3 氮气接口管径:         OD  3/8 英寸(红色标记)2.4 氮气过滤精度:         ≤0.1μm(或按用户要求配置)2.5 设备用氮气接入处减压阀位置应有明显禁调标志,严禁设备在高于氮气设定压力时操作运行。(提示用户按要求配置)2.6 未经过洁净化处理的氮气管路严禁直接接入设备使用,避免对设备造成污染3.去离子水的相关安全性技术要求3.1 使用去离子水压力:      0.25~0.3MPa(**)3.2 使用去离子水耗量:       8~12L/min  (单腔)3.3 去离子水接口管径:       OD  3/8 英寸(蓝色标记)3.4 设备排水口管径:         OD  32mm(UPVC管)3.5  未安装过滤器或未经过洁净化处理的去离子水管路严禁直接接入设备使用,避免对设备造成污染。
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2025-05-29 10:45:19频率计怎么测量晶振
频率计怎么测量晶振 在电子工程领域,晶振作为一种重要的频率控制元件,其性能直接影响着电路的稳定性与精确性。频率计作为一种专门用于测量信号频率的工具,常用于测试和验证晶振的工作频率是否符合设计要求。频率计如何有效地测量晶振的频率呢?本文将详细介绍频率计测量晶振的原理与步骤,帮助工程师们更加地进行相关测试,确保晶振在各类电路中的稳定运作。 频率计的工作原理 频率计是通过对输入信号的周期进行计数来确定频率的一种仪器。其核心原理是将信号周期性波形转换为可被测量的数字信号。频率计通常具有高精度、高稳定性,并能够精确到非常小的频率变化,这对于测试晶振至关重要。它通过内部的计数器和时间基准来进行测量,终输出一个代表信号频率的数值。 测量晶振频率的步骤 连接频率计和晶振 将晶振的输出端口连接到频率计的输入端口。晶振的输出通常是一个正弦波或方波信号,频率计通过接收这一信号,开始进行测量。为了确保测量准确性,需要使用适配器或信号转换器来匹配两者的接口类型。 选择正确的测量范围 根据晶振的额定频率选择适当的频率计测量范围。晶振通常工作在几十千赫兹到数百兆赫兹之间,因此需要根据实际情况调节频率计的测量窗口。如果频率计的测量范围太窄,可能无法捕捉到晶振的信号。 读取测量结果 在正确连接并设置好频率计后,频率计会自动显示输入信号的频率。此时,可以通过观察频率计屏幕上的数值,确认晶振的输出频率是否与其标定值相符。 分析和校准 如果测量结果显示晶振的频率与设计值存在偏差,可能需要对晶振进行校准或进一步检查其性能。频率计可以帮助分析偏差的具体数值,从而为调整和修正提供依据。 测量注意事项 信号质量 测量晶振频率时,需要确保信号波形清晰稳定。如果信号存在噪声或畸变,频率计可能会无法准确读取频率值。因此,合理布线并使用滤波器可能是提高测量准确性的有效手段。 输入阻抗匹配 为了确保频率计能够准确测量晶振的频率,信号源的输出阻抗和频率计的输入阻抗需要匹配。若不匹配,可能导致测量误差或无法得到有效的读数。 结语 通过频率计测量晶振频率是一项简单而精确的操作,它能够帮助电子工程师确保晶振在工作时能够稳定输出预定频率。在测量过程中,精确的信号连接和合理的设置是确保测量准确性和可靠性的关键。掌握频率计的使用技巧,不仅有助于日常的电子测试,也能够在晶振调试与性能分析中提供有力支持。
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2024-12-05 15:56:49圆二色谱仪有哪些测试方法?原理是什么?
圆二色光谱仪(Circular Dichroism Spectrometer,简称CD光谱仪)是一种常用于分析分子结构和研究分子光学活性的实验仪器,广泛应用于生物化学、药物研发、材料科学等领域。其核心原理是通过测量样品在不同波长下对左旋和右旋圆偏振光的吸收差异,从而得到关于分子结构、构象变化及相互作用的丰富信息。一、圆二色光谱仪的工作原理圆二色光谱仪通过测量物质对左旋和右旋圆偏振光的吸收差异来研究其光学活性。具体而言,当圆偏振光通过含有光学活性分子的样品时,样品对两种偏振光的吸收有所不同。通过分析这种差异,可以获得关于分子结构、对称性以及分子间相互作用等信息。二、圆二色光谱仪的测试步骤样品准备 圆二色光谱仪的测试首先需要对样品进行准备。样品应尽量纯净且均匀,避免溶剂或杂质对光谱数据的干扰。对于溶液样品,需要选择合适的浓度,一般而言,蛋白质样品的浓度通常在0.1至1 mg/mL之间。过高或过低的浓度都会影响测试结果的准确性。选择适当的波长范围 在进行测试之前,需要根据研究对象的特性选择合适的波长范围。通常情况下,圆二色光谱仪的工作波长范围涵盖紫外光区域(180-250 nm)以及可见光区域(250-700 nm),不同分子的吸收特性在不同波长范围内表现不同。设置仪器参数 调整圆二色光谱仪的参数,如扫描速度、分辨率和光路长度等。扫描速度过快可能导致分辨率不足,而过慢则可能浪费时间和资源。分辨率的设置应与实验的目标匹配,较高的分辨率适用于对微小结构变化的研究。数据采集与分析 一旦设置好仪器参数,便可以开始数据采集。圆二色光谱仪会记录不同波长下的吸收差异,并生成圆二色光谱。此时,需要特别注意温度的控制,因为温度变化可能影响分子的构象稳定性,从而影响测试结果。三、圆二色光谱仪测试中的常见问题及解决方法溶液中的杂质干扰 若样品溶液中存在杂质,可能会导致圆二色光谱测试结果的误差。解决方法是使用高纯度的试剂,确保样品溶液的清洁,并使用适当的空白样品校正仪器。仪器漂移与温度变化 长时间使用后,圆二色光谱仪可能出现仪器漂移或温度波动,影响数据的准确性。此时,需要定期进行仪器校准,并确保实验过程中的温度保持稳定。光谱解析的挑战 光谱解析可能面临挑战,特别是对于复杂的生物大分子而言。需要借助专业的分析软件对光谱数据进行处理和解释,或通过与已知数据进行比较,确保结果的可靠性。
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