【聚焦光电】探索紫外光谱：Moxtek偏振片的应用概述

DUV步进器和DUV扫描仪是半导体生产过程中的核心和关键单元。使用波长为248 nm和193 nm的单色紫外线辐射，将结构从光掩模板转移到衬底上。在光刻材料的曝光中增加偏振光可将分辨率提高20%。

紫外偏振片也广泛用在无图形晶圆光学检测设备上，实现高精度的缺陷检测。

偏振紫外线用于固化高端印刷行业中使用的紫外线敏感油墨，使用偏振光可以实现更快的生产速度和更大的产能，从而提高机器和工厂的利用率。

使用240至300nm范围内的线性偏振紫外线，可以实现LC显示器行业的精确对准，以生成各向异性对准膜。传统的摩擦聚酰亚胺会产生灰尘、静电和机械损伤。在不用大面积变动的情况下，UV偏振光允许极快生成均匀和稳定的偏置倾斜角。

Moxtek UVD260和UVD240偏振片可用于光谱仪，与Glan-Taylor棱镜相比，其小尺寸、宽接受角、均匀性和宽波长带宽特点具备明显的优势，另外相比传统的Glan-Taylor棱镜，UVD系列偏振片还具有更高的对比度和透过率，同时支持更大的AOI，需要更少的空间，没有光学像差，厚度仅为2mm左右。