荷兰TE 半导体应用实例 | 电镀液中总有机碳TOC含量的测定

电镀液中测试总有机碳TOC含量主要为了监控有机污染物残留，确保工艺质量和产品性能。因为电镀液中的有机污染物（如添加剂分解产物、金属离子等）会导致镀层质量下降，出现夹杂、偏脆等问题，直接影响金刚线切割效率和硅片质量。通过检测TOC含量，可快速判断有机物残留是否超标，及时调整处理工艺。

电镀液通常含有较高浓度的盐类（如氯离子），这些成分在高温氧化过程中可能腐蚀仪器部件（如燃烧管内壁附着盐分），另外氯离子（Cl?）对氧化反应有抑制作用，会影响有机碳向二氧化碳的转化效率，进而影响TOC检测结果的准确性。 ?

荷兰TE公司——Xpert TOC总有机碳分析仪的专利耐高盐设计，可以在得到准备的测试结果的同时避免高盐对系统的损害。

检测要求

电镀液中的TOC含量

样品类型

电镀液-来自于某客户实际样品，样品中含有硫酸铜，盐酸，硫酸等酸类。

检测条件

仪器型号：荷兰TE XPERT-TOC总有机碳分析仪

炉温：720℃

测试模式：TOC=TC-IC

进样体积：100μL(TC) 500μL(IC)

氧气流速：200mL/min

标准曲线：R2>0.999

（点击查看大图）

检测结果

结论：

每个样品测试3次重复，结果重现性良好，在高本底盐度和酸度的电镀液样品即使浓度超过1000ppm的样品也无需稀释直接进样，充分证实了荷兰TE这款XPERT-TOC总有机碳分析仪的性能和可靠的质量。

?? XPERT-TOC/TN_b ——集成了仪器坚固耐用性，分析准确性和操作便捷性于一体的最新一代总有机碳分析仪。

实验室选择 XPERT-TOC/TN_b的原因：

?? 高温催化燃烧法的原理设计，一次进样几分钟内既可得到总有机碳TOC及总化合氮TN_b。

?? 采用TEIS分析控制软件实现仪器的全自动化操作，符合所有目前现行的高温燃烧法的所有官方标准和方法。

?? XPERT可以一次进样得到TOC/TN_b总有机碳及总化合氮结果，也可以分别得到单个的TOC总有机碳及TN_b总化合氮结果。

?? 符合各种国际及国内标准，符合各种高温催化燃烧测试标准，例如：

·HJ 501-2009，HJ 695-2014；

·ASTM D7573,ASTM D8083；

·EN-1484；

·EPA 415.1，EPA 9060；

·ISO 8245，ISO 11905-2；

·USP<643>

等各种国内国际标准。