半导体生产环境全方位超洁净解决方案

在数字科技飞速发展的今天，半导体产业作为核心支撑，正以惊人的速度向前迈进。芯片线宽已迈入纳米级别，制程复杂度也随之飙升。然而，半导体生产过程中，众多环节对气态分子污染物（AMC）极为敏感。这些看不见的 “隐形杀手” 会对生产工艺的关键步骤造成严重威胁，导致半导体晶体表面出现氧化和侵蚀，直接影响成品的合格率。因此，如何有效控制 AMC，成为提升半导体产品良率的关键所在。

在半导体赛道深耕多年，凭借丰富的经验和专业的技术，为半导体行业客户量身打造电子半导体生产环境超洁净解决方案。我们致力于助力企业构建精准化、低能耗的半导体洁净室，紧跟行业技术革新的步伐，持续为产品良率的提升保驾护航。

电子半导体生产环境智能在线监测系统

精准检测，锁定污染源头：要控制 AMC，首先需通过科学检测找出污染物的来源。我们配备了一系列先进的检测设备，包括粒子计数器、多路采样器、便携式检测仪器等，可对洁净室内的 AMC、TVOC、温湿度、风速、压差等参数进行全面监测。同时，依托 ESKY 数据采集器、数据服务器等组成的数据库系统，实现数据的实时收集与存储，为后续分析提供坚实的数据基础。

智能分析，找出问题关键：基于在线监测获取的海量数据，我们运用专业算法进行深入分析。针对洁净室内 AMC 含量的异常波动，系统能快速追踪每一次超控情况，精准定位波动原因，为制定有效的处理方案提供依据。

高效过滤，净化生产环境：在明确污染情况后，我们会在新风、循环风以及机台区域合理配置合适的过滤器。 ESKY 过滤器产品系列涵盖化学过滤器、粉尘过滤器等，其中化学过滤器具有高效过滤的特点，相比传统活性炭，能更广谱地去除气态分子污染物，且阻力低、无递增压损，节能环保，还能避免灰尘释放，同时具备一定的粉尘过滤效果，安装简便，规格也能根据客户需求定制。

ESKY--过滤器产品系列

智能控制，实现节能降耗：通过 ESKY 智能 FFU、智能 FFU 节能控制系统等，结合反向控制技术，实现对洁净室环境的精准调控。用户可通过操控界面，联动控制各房间的控制单元，实现高效节能的管理模式。

智能FFU节能控制系统

根据客户对空气洁净度的不同要求，通过现场采样、勘测、技术诊断等方式，全面评估洁净室内外空气质量，明确气态分子污染物（AMC）的主要成分及浓度，为客户量身定制最贴合实际环境需求的解决方案，为用户提供洁净室管理的新模式，助力实现节能降耗与智慧洁净的双重目标。

作为空气洁净系统综合解决方案提供商，服务领域广泛。我们始终秉持 “洁净所能，创造一尘不染的世界” 的理念，为各行业的洁净生产环境保驾护航。