三维光刻机的对准系统

       三维光刻机制造高精度的对准系统需要具有近乎完 美的精密机械工艺，这也是国产光刻机望尘莫及的技术难点之一，许多美国德国品牌光刻机具有特殊专 利的机械工艺设计。例如Mycro N&Q光刻机采用的全气动轴承设计专 利技术，有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差。 

　　三维光刻机对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜的视场，许多高端的光刻机，采用了LED照明。 

　　对准系统共有两套，具备调焦功能。主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对（光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和物镜供用户组合使用）。 

　　CCD对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视器上。 

　　工件台顾名思义就是放工件的平台，三维光刻工艺Z主要的工件就是掩模和基片。 

　　工件台为三维光光刻机的一个关键，由掩模样片整体运动台（XY）、掩模样片相对运动台（XY）、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。 

　　其中，样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。 

　　样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。 

　　抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。 

　　承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。