诺科仪器 高精度在线式氦气纯度分析仪诺科仪器应用领域

诺科仪器 高精度在线式氦气纯度分析仪诺科仪器应用领域

本系列在线式氦气纯度分析仪以高灵敏度、快速响应和稳定长期运行著称，专为需要持续监测气体纯度的实验室、科研机构与工业现场设计。它能够在不中断供气的情况下实时给出氦气纯度、流量及压力等关键参数，帮助用户实现稳定工艺、降低变差风险，并提升产线良率与数据追踪能力。

核心参数与型号

• NX-HEA1000

  
  

• 流量范围: 0-100 L/min

  
  

• 氦气纯度测量范围: 99.995%-99.9999%

  
  

• 测量分辨率: 0.001%

  
  

• 流量精度: ±0.5% FS

  
  

• 响应时间: T90 ≤ 2 s

  
  

• 工作温度/湿度: 5-40°C / 0-85%RH（无凝露）

  
  

• 电源/功耗: 100-240 VAC, 50/60 Hz；<25 W

  
  

• 通信接口: RS-485/Modbus RTU, Ethernet

  
  

• 尺寸/重量: 420×320×180 mm / 9 kg

  
  

• 其他: IP54防护，内置自诊断

  
  

• NX-HEA2000

  
  

• 流量范围: 0-400 L/min

  
  

• 氦气纯度测量范围: 99.995%-99.99999%

  
  

• 测量分辨率: 0.0005%

  
  

• 流量精度: ±0.4% FS

  
  

• 响应时间: T90 ≤ 1.5 s

  
  

• 工作温度/湿度: 5-40°C / 0-85%RH

  
  

• 电源/功耗: 100-240 VAC, 50/60 Hz；<35 W

  
  

• 通信接口: Ethernet, Modbus TCP, RS-485

  
  

• 尺寸/重量: 520×360×190 mm / 12 kg

  
  

• 其他: 双路传感结构，辅助压力监控

  
  

• NX-HEA3000

  
  

• 流量范围: 0-1000 L/min

  
  

• 氦气纯度测量范围: 99.999%-99.999999%

  
  

• 测量分辨率: 0.0002%

  
  

• 流量精度: ±0.3% FS

  
  

• 响应时间: T90 ≤ 1 s

  
  

• 工作温度/湿度: 5-40°C / 0-85%RH

  
  

• 电源/功耗: 100-240 VAC, 50/60 Hz；<50 W

  
  

• 通信接口: Ethernet, Modbus TCP, OPC UA

  
  

• 尺寸/重量: 640×420×210 mm / 18 kg

  
  

• 其他: 预留外部校验端口，支持多点温度补偿

  
  

设备特征与优势

• 在线实时监测：实现24/7连续测量，数据以秒级刷新，帮助工艺波动快速定位源头。
• 高纯度分辨能力：针对高精度制氦场景，提供从99.995%到99.999999%多档级别的分辨，满足晶圆厂、光刻及超高纯度工艺的严格要求。
• 快速响应与低漂移：T90时间短，长期漂移可通过定期校准进行补偿，减少工艺误差。
• 自诊断与诊断看板：内置自检功能，异常时给出清晰的故障码，辅以远程诊断和固件更新支持。
• 灵活的集成能力：多种通信协议接口，易于集成到现有GAS配布系统、数据采集平台和MES/ERP体系。
• 稳定性与耐用性：高温/低温工况下均可工作，防护等级IP54，适应 harsh 环境和高湿度场景。
• 安全性设计：具备气体泄漏预警、断电保护与冗余采样通道，降低停机风险。

应用领域

• 半导体制造与晶圆加工：用于氦气在洁净工艺中的纯度监控与流路保护，确保薄膜沉积与刻蚀均匀性。
• 光刻与显影工艺：氦气作为载气或保护气体，在关键步骤中维持稳定气氛，提升重复性。
• 医药与科研机构：用于低温冷媒、冷冻干燥及超净环境的气体纯度监测，保障实验数据的可靠性。
• 航空航天与军工：用于高纯氦气制备和分配系统的在线监控，确保工艺一致性。
• 工业气体供应与分配：对分子筛、低温分离等环节的氦气质量进行实时把控，降低设备损耗。

场景化解决方案

• 新建工厂气体系统对接：提供现场勘察、选型与布线方案，确保仪器与气体管网的兼容性，设置多点采样与冗余路径。
• 现有系统升级改造：将老旧分析仪替换为在线高精度型号，提升稳定性、缩短响应时间，并对接现有DCS/SCADA。
• 过程追溯与质量管理：通过以太网/Modbus或OPC UA输出标准化数据，便于质量报告、合格证与追溯分析。
• 学术研究场景：提供高纯度区段的分流监控、温度与压力补偿算法，保障实验可重复性与可追溯性。

场景化FAQ

• 在线分析仪在晶圆厂气体配气中的作用是什么？ 在线分析仪实时监控氦气纯度与流量，帮助调控配气压力、流速及分支阀门状态，减少工艺波动导致的薄膜缺陷。
• 显示的读数与实际偏差时如何处理？ 先确认气体入口压力、温度补偿是否开启，检查传感器自诊断码，如有偏差可执行就地自校或联系厂家进行现场校准。
• 如何进行日常维护与校准？ 建议季度进行仪器全量点校准，日常维护包括清洁样气取样口、检查连接管路密封、更新固件与备份数据。
• 与离线分析相比，在线分析的优势在哪？ 在线分析省去取样、传输与等待时间，能即时反馈工艺偏差，快速实现闭环控制，适合高稳定性要求场景。
• 支持哪些数据接口与系统对接？ 具备RS-485/Modbus RTU、Ethernet、OPC UA等多种接口，便于与DCS、SCADA、MES/ERP系统集成与数据留存。
• 有关扩展性与未来升级如何规划？ 系列设备提供模块化组件，支持增配更高精度传感器、增加采样口、拓展流量档位及升级固件，确保长期适配新工艺。

如果你正在考察能否将氦气在线纯度分析嵌入到现有或新建的气体供应链，诺科仪器的在线式氦气纯度分析仪以其综合性能和灵活性，能够满足从研发到量产的多场景需求。对于具体型号的选型、现场参数匹配和安装方案，我可以根据你们的实际工艺流程、氦气纯度目标与现有控制系统，给出定制化的对比与建议。