KLA 微纳拉伸试验机 T150 UTM参数

KLA微纳拉伸试验机T150 UTM是面向微纳尺度材料与器件力学性能表征的高精度测试系统，覆盖从单根纳米线、薄膜到MEMS微结构的拉伸、压缩、弯曲等多模态测试，兼具微纳级精度与宏观级易用性，广泛服务于半导体、材料科学、生物医学等领域的实验室科研与工业检测。

T150 UTM核心技术特点

• 原位多模态兼容性：支持SEM（高真空/低真空）、TEM、AFM等原位观测，同步获取力学响应与结构演化图像，解决微纳尺度“力学-结构”耦合表征难题；
• 双闭环控制切换：具备力控与位移控双闭环，切换无延迟，适配脆性材料（如石墨烯）、柔性材料（如PDMS薄膜）等不同力学特性样品；
• 专利传感器技术：采用压电应变传感器，力分辨率达1nN（低量程），位移分辨率<0.1nm，满足单根碳纳米管（直径~100nm）的拉伸测试精度；
• 模块化夹具系统：支持定制化夹具，适配样品尺寸从5μm（微悬臂梁）到50mm（宏观柔性薄膜），覆盖宽尺度范围；
• 自动化测试软件：集成TestWorks测试平台，支持自定义测试序列（如循环拉伸、蠕变测试），数据自动导出为CSV/Excel格式，便于后续分析。

T150 UTM关键性能参数

典型应用场景

• 半导体制造：MEMS微结构（微悬臂梁、加速度计梁）的拉伸强度测试，SiO₂/SiNx薄膜的杨氏模量表征；
• 纳米材料科研：单根碳纳米管/石墨烯薄膜的拉伸断裂测试，ZnO/Si纳米线的弹性模量测量；
• 生物医学：细胞拉伸力学表征，胶原蛋白/聚乳酸生物薄膜的力学性能测试；
• 先进材料开发：柔性电子PI薄膜的循环拉伸寿命测试，陶瓷纳米涂层的压缩强度表征。

T150 UTM通过微纳精度与宏观兼容性的平衡，填补了传统试验机无法覆盖的“微纳-宏观”过渡尺度测试空白，其参数设计贴合半导体、材料科学等领域的实际需求，数据可靠性经KLA多年产业化验证，是实验室科研与工业量产检测的核心工具。