实验室样品表面的微量污染物(油脂、氧化物、有机残留)直接影响实验重复性与检测准确性——传统湿法清洗易残留溶剂、损伤热敏材料,而等离子清洗因干法无残留、精准可控的特性,成为实验室前处理核心技术。YP-ZK10优云谱实验室等离子清洗仪器针对科研、检测及工业小批量需求优化设计,以下从核心特点、技术参数、典型应用展开专业解析。
| 参数类别 | 具体参数 |
|---|---|
| 等离子体类型 | 中频射频等离子体(13.56MHz) |
| 功率范围 | 0-300W,功率精度±1W |
| 真空系统 | 双级机械泵+分子泵,极限真空≤5×10⁻³Pa |
| 工作真空范围 | 0.1-100Pa |
| 工艺气体 | O₂、Ar、N₂、H₂(可选) |
| 气体流量 | 单气路0-50sccm,精度±2%FS |
| 样品台参数 | 直径150mm,升降0-50mm,旋转0-30rpm |
| 腔体尺寸 | Φ200mm×H150mm(有效处理空间) |
| 电源要求 | AC220V±10%,50Hz,最大功率≤500W |
| 外形尺寸 | L450mm×W350mm×H500mm |
| 重量 | ≤60kg |
YP-ZK10以低损伤、精准可控、适配性强为核心优势,覆盖实验室常见清洗与改性需求,参数兼顾精度与实用性,是科研、检测及工业小批量场景的可靠选择。
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