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YP-ZK10优云谱实验室等离子清洗仪器参数

来源:山东优云谱光电科技有限公司 更新时间:2026-03-31 16:30:04 阅读量:27
导读:实验室样品表面的微量污染物(油脂、氧化物、有机残留)直接影响实验重复性与检测准确性——传统湿法清洗易残留溶剂、损伤热敏材料,而等离子清洗因干法无残留、精准可控的特性,成为实验室前处理核心技术。YP-ZK10优云谱实验室等离子清洗仪器针对科研、检测及工业小批量需求优化设计,以下从核心特点、技术参数、典

实验室样品表面的微量污染物(油脂、氧化物、有机残留)直接影响实验重复性与检测准确性——传统湿法清洗易残留溶剂、损伤热敏材料,而等离子清洗因干法无残留、精准可控的特性,成为实验室前处理核心技术。YP-ZK10优云谱实验室等离子清洗仪器针对科研、检测及工业小批量需求优化设计,以下从核心特点、技术参数、典型应用展开专业解析。

一、YP-ZK10核心技术特点

  • 低损伤中频等离子源:采用13.56MHz±0.1%中频射频,避免高频等离子体热效应(样品表面温度≤40℃),适配生物样本、高分子薄膜等热敏材料;
  • 精准真空控制系统:双级机械泵+分子泵组合,极限真空≤5×10⁻³Pa,真空恢复速度≤10min(大气压→1Pa),满足不同工艺真空需求;
  • 模块化气路设计:支持O₂、Ar、N₂、H₂四种常用工艺气,单气路流量0-50sccm(精度±2%FS),可实现混气比例精准调控(如O₂-Ar混合用于有机物去除+表面活化);
  • 灵活样品适配:可升降样品台(行程0-50mm)+旋转功能(0-30rpm),兼容直径≤150mm、高度≤30mm样品,覆盖常规实验室尺寸;
  • 智能安全监控:实时显示真空度、功率、温度、气体流量,具备真空泄漏、功率过载、温度超限等异常报警及自动停机功能。

二、YP-ZK10关键技术参数

参数类别 具体参数
等离子体类型 中频射频等离子体(13.56MHz)
功率范围 0-300W,功率精度±1W
真空系统 双级机械泵+分子泵,极限真空≤5×10⁻³Pa
工作真空范围 0.1-100Pa
工艺气体 O₂、Ar、N₂、H₂(可选)
气体流量 单气路0-50sccm,精度±2%FS
样品台参数 直径150mm,升降0-50mm,旋转0-30rpm
腔体尺寸 Φ200mm×H150mm(有效处理空间)
电源要求 AC220V±10%,50Hz,最大功率≤500W
外形尺寸 L450mm×W350mm×H500mm
重量 ≤60kg

三、典型应用场景

  1. 实验室前处理:生物样本(细胞培养皿亲水化)、高分子材料(PET薄膜活化)、金属表面(铝片去氧化层);
  2. 科研领域:材料科学(纳米材料修饰)、半导体研究(晶圆清洗)、生命科学(微流控芯片制备);
  3. 检测行业:GC-MS样品前处理(去有机残留)、失效分析(电子元件杂质去除);
  4. 工业小批量:精密医疗器械(导管活化)、光学元件(镜头去油污)、PCB板清洗。

四、操作与维护要点

  • 操作流程:样品装载→腔体密封→抽真空→设定参数(功率、气体、时间)→启动清洗→通大气取样品;
  • 维护注意:每周检漏(氦质谱检漏仪)、每月换机械泵油(浑浊即换)、每半年校准流量控制器、清洗后用Ar吹扫腔体5min避免残留。

YP-ZK10以低损伤、精准可控、适配性强为核心优势,覆盖实验室常见清洗与改性需求,参数兼顾精度与实用性,是科研、检测及工业小批量场景的可靠选择。

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