概述
PEPS?II改进并以TMC的专利PEPS?(精密电子定位系统)为基础。 通过添加新的数字控制器,PEPS?II更易于使用,提供更多功能,并具有改进的用户界面。 PEPS?II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。 这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。 其应用范围从半导体制造设备到改善建立时间和提高产量,再到需要Z佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
美国专利号5,832,806
特点
? 数字控制,用户友好的LCD界面
? Z轴位置重复性精度:10um
? 用于TMC 气浮隔振系统的数字式非接触高度控制系统,如Gimbal Piston?、CSP?和MaxDamp?隔振系统的非接触式电动气动高度控制,包含控气阀和机械高度传感装置。
? 通过消除传统机械高度控制系统的杠杆接触点改善隔振效果
? 可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动
? 可选的“VX”功能集成了惯性传感器,用于主动阻尼垂直隔振器共振
? 隔震更敏感,可以显著减少基于空气隔离器的系统的自然共振峰,控制器安装时进行设置,不需要后续设置
系统
? 四个内部伺服阀的数字控制器
? 三个涡流接近传感器
? 传感器外部连接到数字控制器,并用于测量有效载荷的高度,俯仰和滚动
? 可以使用电脑USB连接控制器接口进行电脑设置控制及采集数据
规格参数:
物理尺寸 | PEPS? II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)宽 x 9.4英寸(240 mm)深 |
重量 | PEPS? II控制器:约3.0磅(1.2千克) |
环境 | 仅限室内使用,Z高2,000米海拔(6560英尺) |
电源要求 | 电源输入电压范围:90-230 VAC |
PEPS? II用户界面(前面板) | 电源开关 |
PEPS? II 界面(后面板) | 带EMI滤波器的交流电源输入 |
PEPS? II性能规格 | 模拟输入(单极):8 x 12位(16位使用过采样),0 ... 3.0 V满量程 |
气动规格 | 长期高度稳定性:±50微米 |
2024年森泉参展信息:
3.20-22日慕尼黑上海光博会, W4馆4580;
7.24-26日北京光电子博览会, C18;
9.11-13日深圳CIOE国际光电博览会,4C035&36
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