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LaserTable-Base :混合压电 / 气浮主动隔振系统

来源:青岛森泉光电有限公司 更新时间:2026-01-23 16:57:37 阅读量:4
导读:LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常you效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常you效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制,可消chu而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术(空气和STACIS)整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应,这实现了低频率消振和前suo未有的高频隔振水平。

LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计,可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔振器或刚性、非隔振支架,具体取决于应用要求。


性能:

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 将低频、被动MaxDamp®空气隔振器与压电主动消振系统串联在一起,可得到整体传递率曲线,即两条单独传递率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显著,在某些频率范围内,我们受到测量仪器噪声基底的限制。并且无法测量和演示完整的隔振性能。也就是说,在10-12 Hz以上,组合系统的实际性能预计将超过所示性能,因为组合隔振理论上是两个子系统所提供的隔振的总和。


应用照片:

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从 0.2Hz 的超低频振动到 150Hz 的中高频干扰,TMC 主动隔振系统以专li技术、全场景产品矩阵和极zhi精度控制,重新定义了精密设备的振动防护标准。无论是半导体制造的纳米级加工,还是科研领域的极xian测量,TMC 都能提供 “量身定制” 的主动隔振解决方案,让精密设备摆脱环境振动的束缚。

标签:   气浮主动隔振系统   光学平台

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