气浮隔振光学平台

应用领域：

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

产品特点：

■飞尔沃公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。

■优异的隔振性能：内置精密空气弹簧隔振系统，具备优秀的固有频率，对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。

■自动调节水平功能：放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压，自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品，标配进口无油压缩机。

■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为1cr17优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有M6螺孔阵列，易于固定光学元件。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固稳定。

■工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。

■平面度：< 0.05mm/m2

■表面粗糙度：< 0.8μm

■固有频率；x方向：1.0Hz～1.5Hz y方向：1.0Hz～1.5Hz

■减振效率：x方向＜5Hz时：88%～94% y方向＜5Hz时：86%～92%

■振幅：< 1μm

■荷载能力：800kg/m2

■重复定位精度：±0.05mm

光学平台内部采用粘接蜂窝芯及隔离杯结构或焊接钢制蜂窝结构（用户可选）

光学平台承载：1200公斤，台面和支架总体高度800mm，可调范围-20~+30mm，重复垂直精度：+0.05mm