单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项

       （一）停水

　　1）发生停水或水压报警时，先确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明显升高。

　　a、快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150MM。

　　b、关闭加热功率。

　　c、复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。

　　d、降低埚位到熔料埚位。

　　e、关闭埚转。

　　2）停水后水压恢复

　　a、冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。

　　b、水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小于10分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。

　　c、启动埚转，设定为2转/分。

　　d、熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。

　　e、待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率温度稳定后，开始引晶。

　　3）停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于10分钟。

　　a、在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。

　　b、停炉，充分冷却后拆炉

　　（二）停电

　　1）若炉子工作时，加热部分停电。

　　a、复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。

　　b、降低埚位到熔料埚位。

　　c、关闭埚转。

　　d、加热部分恢复时，若时间较短，按加热功率开，将功率升至熔料功率。

　　e、启动埚转，设定为2转/分。

　　f、熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。

　　g、待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率温度稳定后，开始引晶。

　　h、加热部分恢复时，若停电时间较长，快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。

　　r、在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。

　　j、停炉，充分冷却后拆炉

　　2）若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。

　　a、立即关闭抽空阀门。

　　b、手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。