卧式低压化学气相沉积炉管用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅；用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。

反应离子刻蚀机主要用于介质薄膜干法刻蚀，包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等

超高真空溅射系统主要用于溅射沉积Pd、Ti、Zr、Ta、Al、Cu、W、 NiFe、FeMn,、CoFeS等各种纳米级单层或多层纳米厚度膜（通常低于50nm)。 ...

在超临界状态下，气体和液体之间不再有界面存在，而是成为介于气体和液体之间的一种均匀的流体。这种流体逐渐从样品间隙中排出，由于不存在气-液界面，也就不存在毛细管力，因此不会引起样品间隙的收缩和结构的破坏...

薄膜应力测量仪 薄膜应力测量仪主要用于薄膜张应力测试和薄膜压应力测试。

四探针电阻率又名方块电阻测试仪，主要用于测量电阻率及方块电阻（只测量非金属薄膜，避免设备污染）。提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。

半导体参数测试仪与MM探针台支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等

导通电阻评估系统 导通电阻评估系统在低温、高温的温度循环环境下，采用4端子测试法对焊点、连接器接点等导体进行多通道高精度微小电阻连续测量，以评估电子装配与材料的正确性和可靠性。操作软件可实时自动测量...

绝缘电阻劣化（离子迁移）评估系统 面对电子产品越来越小型轻量及高密度封装，因结露吸湿等因素造成的绝缘bu良现象暨离子迁移现象日益突出，绝缘电阻劣化（离子迁移）评估系统配之以高温高湿试验箱联动，可高精...

Agilent 频谱/阻抗分析仪 439为实验室和生产制造应用提供优异的矢量网络、频谱和可选的阻抗测量。只要有一台这样的仪器，就能进行通常评估元件和电路所需要的增益、相位、群时延、失真、寄生、CN和噪...

华测真空探针台，测试类型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε测试 搭配仪器：源表、高阻计、直流低电阻测试仪、阻抗分析仪、半导体参数分析仪