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【嘉仪通系列产品ZT一】材料科研的——薄膜热导率测试系统

发布：武汉嘉仪通科技有限公司

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薄膜热导已获2项发明ZL，ZL号：201710832672.2 ZL号：201810067584.2
薄膜热导已获2项实用新型ZL，ZL号：201720505805.0 ZL号201720511457.8

日前，3家国内yi流科研机构已经选择了嘉仪通的薄膜热导率测试系统作为其薄膜材料热导率测试的专业仪器，还有数十家大专院校与科研院所正在与嘉仪通洽谈选购。嘉仪通薄膜热导率测试系统已成为国内yi流科研机构的不二之选！

薄膜热导率测试系统采用3ω测试方法，有效克服了样品表面热辐射现象，能够良好测试微/纳米薄膜材料的热导率。可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，涵盖范围包括集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件等。目前，已赢得了包括ZG科学院上海微系统与信息技术研究所、嘉兴学院以及第三方检测机构等单位一致认可。

“3ω测试方法”

样品表面光刻金属条，在金属条两端通频率为ω的电流，金属条中间两电极产生一个频率为 3ω 的小电压信号V3ω。由 V3ω间接推导出热导率。

“产品详情”

一.可测试薄膜材料的热导率

1. 本系统不直接测量温度变化，而是通过测量材料在导热过程中温度的变化转换为的电信号的变化来实现微/纳米薄膜材料的热导率，微伏级电压值，保证测量结果的高极ng确度；

2. 采用交流电加热方式，同时选择并优化设计加热电极的形状与尺寸，可保证加热均匀性及测试应用的广泛性、准确性与稳定性；

3. 采用3ω测试方法，可以有效克服样品表面热辐射现象。

二.系统实现自动调节功能

1. 在常规测试方法下可实现自动化调节电阻值；

2. 系统配合软件可实现自动化电桥平衡；

3. 操作安全便捷，优化用户体验。

三.专业化薄膜热导测试软件

获得国家软件著作权保护（登记号：2016SR273937）

1. 可实现常温、变温下的衬底热导率、样品热导率和衬底热扩散系数等自动测试；

2. 实现一键电桥平衡功能，并且在变温条件下可自动测试金属电阻系数；

3. 可以分析热导率和温度T的变化曲线；

4. 可快速查看结果并自动保存Excel格式文件；

5. 规范化软件界面，操作便捷，可快速中英文切换。

“成功案例”

ZG科学院上海微系统与信息技术研究所

ZG科学院上海微系统与信息技术研究所原名ZG科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立ZY研究院工程研究所，是ZGZ早的工学研究机构之一。

2017年12月20日武汉嘉仪通科技有限公司的“薄膜热导率测试系统（TCT）”在上海完成仪器的安装调试和讲解培训工作，并顺利通了产品验收，正式交付于中科院上海微系统所使用！通过几个月的使用中科院上海微系统所对嘉仪通产品表示认同，嘉仪通产品可以直接测量微纳米尺度薄膜材料热导率。

嘉兴学院

嘉兴学院（Jiaxing University），简称嘉院，是2000年3月经国家教育部批准，由原浙江经济高等专科学校和嘉兴高等专科学校合并组建的普通本科高校，实行“省市共建共管，以省为主”的管理体制。

2017年10月28日武汉嘉仪通科技有限公司的“薄膜热导率测试系统（TCT）”在嘉兴学院-机电工程学院完成仪器的安装调试和讲解培训工作！通过几个月的使用机电工程学院老师表示嘉仪通此刻产品可以直接测量纳米级薄膜材料热导率，解决了他们的一大难题再次表示了对嘉仪通的认同。

ZG工程物理研究院

ZG工程物理研究院(China Academy Of Engineering Physics)，简称"中物院"，是国家科研计划单列的ZG**的核武器研制生产单位，是以发展国防科学技术为主的集理论、实验、设计、生产为一体的综合性研究院。

2017年6月嘉仪通科与ZG工程物理研究院签订薄膜热导率测试系统（TCT）购货合同，亟待交付使用。

“技术参数”

型号	TCT-CL	TCT-RT	TCT-HT
温度范围	150K~RT	RT	RT-500K
测试对象	半导体薄膜、导电薄膜、绝缘薄膜等
热导率测量范围	0.1-10W/（m·k）
测试精度（热导率）	±5%(在Si上测量)，±10%（其他）
适合氛围	真空
样品尺寸	长 x 宽：(5-10)x(5-10)，单位mm,薄膜厚度≥10nm
其他注意事项	测量导电薄膜时，需要沉积绝缘层（推荐：SiO2），薄膜表面要非常光滑，确保绝缘层不漏电；衬底热导率要远大于薄膜热导率，推荐使用Si、AIN等高热导衬底。
主机尺寸	710 x 600 x 490，单位mm
重量	80kg