Filmetrics R54是KLA薄膜电阻和导电率测绘系统，从半导体制造到实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，薄膜电阻监控对于任何使用导电薄膜的行业都比较重要。R54在功能上针对金属薄膜均匀性测绘、离...

四点探头和涡流探测系统 以矩形，线性，极性和自定义配置 X-Y行程可达200mm 在导体和半导体薄膜上测量方块电阻的范围较大 接触式和非接触式测量

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200...

该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的分辨率相机等功能，程序设置简便快速。 P-17具备...

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量，以及翘曲度和应力的2D测量。 光学杠杆传感器技术提供分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是...

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 光学杠杆传感器技术提供分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与...

P-7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达1...

Zeta-388 Optical ProfilerZeta-388支持3D量测和成像功能，并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统，可实现全自动测量。该系统采用ZDot技术，可同时采集高分辨...

Zeta-20是一款紧凑牢固的全集成光学轮廓显微镜，可以提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。 Zeta-20具备Mu...