新型热场发射扫描电子显微镜JSM-F100上市

日本电子株式会社（总裁：大井泉）宣布：新型热场发射扫描电子显微镜JSM-F100于2019年8月开始销售

JSM-F100集成了备受推崇的In-lens Schottky Plus Gun（浸没式肖特基场发射电子枪）和电子光学控制系统Neo Engine，还集成了一个新开发的操作GUI“SEM Center”和一个创新的Live-AI filter(实时图像视觉增强器人工智能过滤器), 实现了高空间分辨率成像观察和高可操作性。此外，JSM-F100配备了JEOL能量色散x射线光谱仪(EDS)，操作导航完全集成在“SEM Center”内，从图像到元素分析实现无缝采集。受用户追求高性能和可操作性的改进和集成的启发，JSM-F100的工作效率比之前的JSM-7000系列高50%或更高。

特点：

1.In-lens 肖特基-Plus场发射电子枪(FEG)

电子枪和低像差聚光镜的增强集成实现了更高的亮度。能够有效收集电子枪产生的电子，即使低加速电压下也能得到数pA-数十pA的电流，支持高分辨观察、高速元素分析和EBSD分析。

2. 混合透镜(HL)

混合透镜(HL)是静电和电磁场透镜的组合，支持从磁性材料到绝缘体等各种样品的高空间分辨率成像和分析

3. Neo Engine

Neo Engine是一种前沿的电子光学控制系统，在自动功能的精度上有了显著的提高，可操作性也更高。即使变更电子光学条件，光轴也不偏差，操作性和观察精度大幅提高。可以说是JEOL电子光学技术的结晶。

4. 新操作导航SEM Center-集成了EDS操作

新开发的操作GUI“SEM Center”将SEM成像观察和EDS分析整合在一起，实现了图像观察和元素分析的无缝数据采集。

5. 新功能Zeromag

 “Zeromag",结合了从光学图像到SEM成像的无缝转换，很容易定位试样目标微区。

6. 新功能Live-AI filter(实时图像视觉增强器人工智能过滤器) option

配备人工智能Live-AI filter。与图像集成处理不同，这种新的过滤器可以显示无缝移动的实时图像，没有残留图像。这种独特的特征对于快速搜索观察区域、聚焦和消像散调整非常有效。