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伯东氦质谱检漏仪 ASM390 用于不锈钢管检漏
发布:伯东企业(上海)有限公司浏览次数:225某专门生产半导体配件公司采用移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 对高端不锈钢管, 阀门和歧管等配件进行检漏, 以验收管件是否达标. 其产品漏率值需要达到 10-9mar l/s.
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱测漏仪 ASM390 技术参数:
型号
ASM390
检测气体
4He, 3He, H2
最小检测漏率
真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪/模式: 1X10-8 mbar l/s对氦气的抽速
10 l/s
前级泵抽速
35 m3/h
进气口最/大压力
20 mbar
无校准的启动时间(20°C)
2 min
进气口
DN 40 ISO-KF
响应时间
< 1 s
Interface, 选配
RS-232, I/O, Ethernet
噪音
≤ 55 dB (A)
重量
125 kg
尺寸(LxWxH)
1072 x 455 x 1025 mm
待检漏产品:
半导体配件-不锈钢管检漏方法工作示意图如下:移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准
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上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
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2021-08-05相关仪器 -
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