-
产品文章
-
KRI 射频离子源RFICP 325辅助LED-DBR镀膜
发布:伯东企业(上海)有限公司浏览次数:67光学镀膜在我们生活中无处不在, 从精密及光学设备/ 显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用; 比如说, 平时戴的眼镜/ 数码相机/ 各式家电用品, 或者是票上的防伪技术, 皆能被称之为光学薄膜技术应用之延伸. 倘若没有光学薄膜技术作为发展基础, 近代光电/ 通讯或是镭射技术将无法有所进展, 这也显示出光学薄膜技术研究发展的重要性.
为了提高薄膜的品质,镀膜制造商一般会采用离子源进行辅助镀膜, 如下图
随着对镀膜品质要求的不断提升, 使用霍尔离子源辅助镀膜已经无法满足高端镀膜应用市场, 国内某知名 LED 制造商经过我司推荐采用射频离子源 RFICP 325 安装在 DBR 生产设备 1650 mm 蒸镀机中. 成功实现高端光学镜头镀膜并通过脱膜测试!
上海伯东 KRI 射频离子源 RFICP 325客户案例: 国内某知名 LED 制造商
1. 离子源应用: LED-DBR 镀膜生产.
2. 系统功能: 1650 mm 尺寸电子枪蒸镀镀膜机.
3. 离子源: 采用美国 KRI 射频离子源 RFICP 325. 离子源 RFICP 325 提供的离子束 (不论是离子能量还是离子密度) 均是目前业界较高等级, 离子源 RFICP 325 特殊的栅极设计 E22 Grided 可以涵盖 1650 mm 尺寸的蒸镀机中大范围的载具 substrate holder, 无论是生产良率或是均匀性都可达到生产效能.
4. 离子源功能: 通过射频离子源 RFICP 325 实现离子辅助镀膜 IBAD 及预清洁 Pre-clean 功能后, 所生产出的 LED-DBR 无论是亮度测试, 脱膜测试, 顶针测试, 光学特性等等… 都优于目前一般业界蒸镀机所搭配的离子源.
上海伯东射频离子源安装案例: KRI RFICP 325 射频离子源安装于 1650 mm 尺寸电子枪蒸镀镀膜机.
KRI 射频离子源测试案例: LED-DBR 脱膜测试.
1. 在高倍显微镜下检视脱膜测试
2. 测试结果--------- 使用其他品牌离子源--- --------------------- 使用美国考夫曼 KRI RFICP 325 离子源 ----------------------
从上图可以清楚看出, 使用其他品牌离子源, 样品存在崩边的问题; 使用上海伯东美国考夫曼离子源, 样品无崩边
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有, 翻拷必究!
2023-03-02相关仪器 -
免责声明
①本网刊载上述内容,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任
②若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
-
认证会员 第 10 年
伯东企业(上海)有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
- 美国 Gel-pak 芯片包装盒
- Atonarp 过程控制质谱仪
- Europlasma 超薄等离子涂层设备
- 美国 Nor-Cal 真空元件
- 美国 ATC 空气泄漏测试仪
- 德国普发pfeiffer 氦质谱检漏仪
- 德国普发pfeiffer 气体质谱分析仪
- 德国普发pfeiffer 真空计,真空规
- 德国普发pfeiffer 分子泵
- 德国pfeiffer 旋片真空泵/干式真空泵/隔膜泵
- 德国普发pfeiffer 真空镀膜机
- KRI 考夫曼离子源
- 离子刻蚀机,电子蒸发镀膜机
- 美国 inTEST 高低温冲击测试机
- 美国 HVA 真空阀门
- 美国 inTEST 高低温测试机
- 美国 Thermonics 超低温冰水机
- 英国 NanoMagnetics 原子力显微镜
- 美国 Polycold 冷冻机
- 美国 Ambrell 感应加热电源
- (美国)美国inTEST- Temptronic
- (美国)美国Polycold
- (美国)美国KRI
- (德国)普发真空
- (美国)美国Ambrell
- (英国)英国纳米磁
- (美国)Thermonics
- (美国)Nor-Cal
- (美国)ATC
- (比利时)比利时Europlasma
- (英国)Gel-Pak
- (日本)Atonarp
- (台北)矽碁
-
仪企号伯东企业(上海)有限公司
-
友情链接
-
手机版开启全新的世界m.yiqi.com/zt2129/