-
产品文章
-
美国 KRi 霍尔离子源辅助镀膜 IBAD 应用
发布:伯东企业(上海)有限公司浏览次数:41上海伯东美国 KRi 霍尔离子源 EH 系列, 提供高电流低能量宽束型离子束, KRi 霍尔离子源可以以纳米精度来处理薄膜及表面, 多种型号满足科研及工业, 半导体应用. 霍尔离子源高电流提高镀膜沉积速率, 低能量减少离子轰击损伤表面, 宽束设计提高吞吐量和覆盖沉积区. 整体易操作, 易维护, 安装于各类真空设备中, 例如 e-beam 电子束镀膜机, load lock, 溅射系统, 分子束外延, 脉冲激光沉积等, 实现 IBAD 辅助镀膜的工艺.
KRi 霍尔离子源特点高电流低能量宽束型离子束
灯丝寿命更长
更长的运行时间
更清洁的薄膜
灯丝安装在离子源侧面
KRi 霍尔离子源辅助镀膜 IBAD 典型案例:
设备: 美国进口 e-beam 电子束蒸发系统
离子源型号: EH 400
应用: IBAD 辅助镀膜, 通过向生长的薄膜中添加能量来增强分子动力学, 以增加表面和原子 / 分子的流动性, 从而导致薄膜的致密化或通过向生长薄膜中添加活性离子来增强薄膜化合物的化学转化, 从而得到化学计量完整材料.
离子源对工艺过程的优化: 无需加热衬底, 对温度敏感材料进行低温处理, 简化反应沉积.
通过使用美国 KRi 霍尔离子源可以实现
增强和控制薄膜性能, 薄膜致密化的改进, 控制薄膜化学计量, 提高折射率, 降低薄膜应力, 控制薄膜微观结构和方向, 提高薄膜温度和环境稳定性, 增加薄膜附着力, 激活表面,平滑的薄膜界面和表面,降低薄膜吸收和散射,增加硬度和耐磨性.
美国 KRi 离子源适用于各类沉积系统, 实现 IBAD 辅助镀膜 (电子束蒸发或热蒸发, 离子束溅射, 分子束外延, 脉冲激光沉积)
美国 KRi 霍尔离子源 eH 系列在售型号:型号
eH400
eH1000
eH2000
eH3000
eH Linear
中和器
F or HC
F or HC
F or HC
F or HC
F
阳极电压
50-300 V
50-300 V
50-300 V
50-250 V
50-300 V
离子束流
5
10A
10A
20A
根据实际应用
散射角度
>45
>45
>45
>45
>45
气体流量
2-25 sccm
2-50 sccm
2-75 sccm
5-100 sccm
根据实际应用
本体高度
3.0“
4.0“
4.0“
6.0“
根据实际应用
直径
3.7“
5.7“
5.7“
9.7“
根据实际应用
水冷
可选
可选
是
可选
根据实际应用
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
上海伯东同时提供 e-beam 电子束蒸发系统所需的涡轮分子泵, 真空规, 高真空插板阀等产品, 协助客户生产研发更高质量的设备.
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域. 上海伯东是美国 KRi 考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解考夫曼离子源, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生2023-04-12相关仪器 -
免责声明
①本网刊载上述内容,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任
②若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
-
认证会员 第 10 年
伯东企业(上海)有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
- 美国 Gel-pak 芯片包装盒
- Atonarp 过程控制质谱仪
- Europlasma 超薄等离子涂层设备
- 美国 Nor-Cal 真空元件
- 美国 ATC 空气泄漏测试仪
- 德国普发pfeiffer 氦质谱检漏仪
- 德国普发pfeiffer 气体质谱分析仪
- 德国普发pfeiffer 真空计,真空规
- 德国普发pfeiffer 分子泵
- 德国pfeiffer 旋片真空泵/干式真空泵/隔膜泵
- 德国普发pfeiffer 真空镀膜机
- KRI 考夫曼离子源
- 离子刻蚀机,电子蒸发镀膜机
- 美国 inTEST 高低温冲击测试机
- 美国 HVA 真空阀门
- 美国 inTEST 高低温测试机
- 美国 Thermonics 超低温冰水机
- 英国 NanoMagnetics 原子力显微镜
- 美国 Polycold 冷冻机
- 美国 Ambrell 感应加热电源
- (美国)美国Ambrell
- (英国)英国纳米磁
- (美国)Thermonics
- (美国)Nor-Cal
- (美国)ATC
- (比利时)比利时Europlasma
- (英国)Gel-Pak
- (日本)Atonarp
- (台北)矽碁
- (美国)美国inTEST- Temptronic
- (美国)美国Polycold
- (美国)美国KRI
- (德国)普发真空
-
仪企号伯东企业(上海)有限公司
-
友情链接
-
手机版开启全新的世界m.yiqi.com/zt2129/