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科睿设备有限公司
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MIDAS光刻机
  • 品牌:韩国MIDAS
  • 型号: 无
  • 产地:韩国
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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收藏  关注度: 391
详细介绍

QQ截图20220707111416.png 

※ 主要应用:MEMS、先进封装、化合物半导体、光电器 件、光电显示、生物芯片等微米级和亚微米级图形,尤其 在厚胶、碎片、边缘曝光等特殊工业有明显优势。 

※ 用于0.8um线宽及以上的光刻工艺。 

※ 常用样品尺寸:碎片-12英寸,最 大晶圆(客户定制)尺 寸可达500mm。 

※ 支持单面对准、双面对准、红外对准和键合光刻,对准精 度0.5um。 

※ 自动楔形补偿功能,保证光刻的均匀性和一致性。 

※ 兼容纳米压印模块。

产品优势
光刻工艺是半导体工艺最关键的步骤之一,用于图形定义,直接决定半导体整线 工艺的水平。
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