椭圆偏振光谱仪

UVISEL的激发和收集头设计非常容易耦合到辊对辊系统中，同时软件具有先进的通信能力满足辊对辊生产。

大面积成像椭偏仪可实现面板上任意位置的测量。整个系统由DeltaPsi2软件驱动，它为常规薄膜测量提供了保障。DeltaPsi2软件提供了从测试到建模分析，输出报告，以及自动操作的全部功能控制。同时还...

UVISEL 2 VUV能够在充氮气或抽真空模型下工作。整个机械设计经过优化，氮气消耗量低至6L/min，载样速度快，2分钟内即可完成。真空样品仓门朝向操作人员更便于样品装载。

Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具，以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统，准确定位分析位置及区域，7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16...

Auto SE全自动化设计、一键式操作，功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析，自动切换微光斑，多种附件可选，以满足不同的应用需求。

UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。