偏振光谱仪-HORIBA椭圆偏振光谱仪UVISEL Plus

UVISEL PLUS椭圆偏振光谱仪

研究级经典型椭偏仪

光谱范围从FUV到NIR：190-2100nm

UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。

UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。

UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100 nm），校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq专门为薄膜表征设计，双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。

相位调制技术的独有特点为高频调制 50 kHz，信号采集过程无移动部件：

• 测试全范围的椭偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)

• 从FUV到NIR具有优良的信噪比

• 数据采集速度快，高达50毫秒/点，是动力学研究和在线测量的理想选择

相比于采用 旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪，UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面，还可以表征50µm的厚膜。

在测试有背反射的透明样品时，测试简单、准确，无需刮花背面。

UVISEL Plus还设计有多种附件及可选功能，便于客户根据应用需求及预算选择合适的配置。比如，微光斑用于图案样品、自动变角器、自动样品台等。

UVISEL Plus采用模块化设计，可灵活扩展。即可用于离线台式测量，也可以耦合于镀膜设备做在线监控。

UVISEL Plus可根据习惯选择操作界面，一个是 DeltaPsi2  具有建模和拟合处理功能；另一个是 Auto-Soft 用户导向的全自动样品测试界面 ，工作流程直观，易于非专业人士操作。

UVISEL Plus搭载FastAcq技术是材料研究和加工、平板显示、微电子和光伏领域中优选通用光谱型椭偏仪。

UVISEL Plus是材料科学研究的理想工具。

产品优势

• 高精度和高灵敏度

• 模块化设计

• 宽光谱范围： 190-2100 nm

• 集数据测量、建模和自动化操作为一体的软件包

获得的信息

• 膜层厚度，从1Å到50 µm

• 表面和界面粗糙度

• 光学常数 (n,k) ，适用于各向同/异性和渐变层

• 光学特性如：吸收系数α, 光学带隙Eg

• 材料性能：合金成分、孔隙率、结晶度及形貌等

• 穆勒矩阵

• 退偏

UVISEL 规格

• 光谱范围：标配190-885nm，可扩展至近红外2100nm

• 检测系统：高分辨率光谱仪配合高灵敏探测器

 手动配置

• 光斑尺寸：0.05 – 0.1 – 1 mm（针孔）

• 样品台：直径150mm，手动调节高度（20mm）和倾角

• 卡位量角器：手动调节角度，从55°到90°，步径5°

 自动配置

• 光斑尺寸：0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm（针孔）

• 自动样品平台：200 x 200mm或300 x 300mm，手动调节高度（4mm）和倾角；XYZ样品台，theta平台

• 自动量角器：自动调节角度，从45°到90°，步径0.01°

 集成型量角器

• 手动调节入射角度，从35°到90°，步径5°

• 样品台：直径150mm，手动调节高度（20mm）

• 自动准直系统（可选）

• 尺寸: 25cm*21cm*35cm

 在线配置

• 机械适配器：CF35或KF40法兰

• 易于在在线和离线配置间更改

 选配

• 附件：冷热台、液体样品池、电化学反应池、反射模块（测试0°入射的反射率）等

• 可视化：CCD摄像机

性能

• 准确度：Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°，空气对射1.5 - 5.3 eV

• 重复性：NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm)，d±0.1%，n(632.8nm)±0.0001