HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品介绍：

HORIBA UVISEL Plus 相位调制型椭圆偏振光谱仪基于新版的电子设备，数据处理和高速单色仪，Fastacq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq为薄膜表征特殊设计，双调制技术使您可以获得完整的测试结果。相位调制与消色差光学设计的结合提供了特别的膜厚测试效果。配备双单色仪系统的特殊设计满足用户的期望值，通过模块化的设计，更多的附件选择，使得仪器使用能变得灵活。可以表征各种薄膜材料,包括介电薄膜、半导体、有机物、金属、超材料和纳米材料等。

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品优势：

灵敏：测量速度有明显提升

UVISEL Plus相位调制椭偏仪提供简单快速的偏振调制，可用于各种样品的测量，FastAcq快速采集技术使得测试灵敏度有了提升，从而能获得界面簿膜和纳米级低衬度衬底样品的更多信息。

灵活

UVISEL Plus相位调制椭偏仪模块化设计，可灵活拓展，以适应您的应用及预算需求。相较于其他供应商,UVISEL Plus相位调制椭偏仪系统的可升级性能将更好的满足您未来的应用需求(190-2100nm)，校准仅需几分钟。

简单

AutoSoft软件界面以工作流程直观为特点，使得数据采集分析更加简便，易于非专业人员上手操作。

快速

UVISEL Plus相位调制椭偏仪集成了FastAcq快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品(190-2100nm)，校准仅需几分钟。

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品测量原理：

HORIBA UVISEL Plus 椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振状态会发生变化，这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化，可以准确地推导出薄膜的厚度。

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪软件：

AutoSoft软件提供一键式测试分析。附带即点即用的菜单库帮您掌控一切椭偏分析。

定制菜单

创建您自己的菜单，进行数据采集，自动mapping和薄膜结构分析，一键即可实现。完备的材料及模型数据库

AutoSoft软件提供了大量的材料模型便于您对材料及膜系进行描述与设置。

多值计算

多值计算是HORIBA的算法，可快速准确的找到符合的结果。多值计算可以应用于膜厚以及其他色散参数的计算，能够减化繁琐的拟合步骤。

DeltaPsi2为椭偏全部功能服务

DeltaPsi2软件提供了从测试到建模分析，输出报告，以及自动操作的全部功能控制，无需多个软件间切换，使日常测试更加便捷。

HORIBA UVISEL Plus 相位调制型椭圆仪技术特点：

• 信号采集过程无移动部件

• 光路中无增加元件

• 高频调制50kHz

• 测试全范围的椭偏角，Ψ(0-90，∆(0-360)

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪常见应用：

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪行业应用：

HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪产品参数：