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椭偏仪 QUASAR-E100系列

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详细介绍

QUASAR-E100是一款桌面式光谱椭偏膜厚仪,它为客户提供更加准确、稳定的厚度和折射率测量,广泛应用于科研、半导体、液晶、太阳能制造等领域,适用于对厚度和折射率测量有更高精度要求的应用场景。

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产品特点

 

各种尺寸样品测量

可测量如4-12英寸的晶圆及其他各种不规则形状样品

 

测量精度和稳定性高

相对于反射仪,QUASAR-E100可提供更高精度的测量,且可提供极薄膜的测量

 

多参数测量

可测量材料厚度、折射率和消光系数 

 

操作简单且功能丰富

用户无需过多培训即可轻松掌握测量流程及建立菜单,数据查看、统计和分析功能丰富

 

产品参数

 

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★Si基底上对厚度小于30nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差

 

定制功能

 

可根据客户需求配置不同的光源,以实现不同性能的测量

可根据客户需求搭配自动运动平台

可根据客户需求配置小光斑


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