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工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列
- 品牌:上海晶诺微
- 型号: QUASAR-S
- 产地:闵行区
- 供应商报价: 面议
- 北京爱蛙科技有限公司 更新时间:2024-03-29 14:37:47
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
应用于集成电路芯片制造生产线上的光学膜厚测量设备,适用于6、8、12吋生产线,产品技术成熟,测量精度高,测量速度快,技术上已达到国际同类竞争产品水品,可实现纳米级厚度测量。
产品特点
适用于150mm、200mm、300mm晶圆、碳化硅及MicroLED等领域
适用于Open cassette、SMIF、FOUP样品装载接口
可见、紫外及红外SE测量系统及SR测量系统
单层膜厚、折射率及吸收系数测量以及多层膜测量
超高产能,可达每小时120片
超高精度,可达0.005nm(3倍标准偏差)
多图案识别定位功能
无图案样品精确定位功能
Waferless recipe功能
产品参数