薄膜测量工具-HORIBA Auto SE- 自动化薄膜测量工具

Auto SE - 自动化薄膜测量工具

一键式全自动快速椭偏仪

Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。

Auto SE全自动化设计、一键式操作，功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析，自动切换微光斑，多种附件可选，以满足不同的应用需求。

Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理，仪器维护简单

Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

• 全自动流程，薄膜分析更容易

• 高性能系统

• 光斑可视化，微光斑可至25x60 µm

• 功能齐全和灵活

• 智能诊断

配置

• 光谱范围：440-1000nm

• 光斑尺寸：7个尺寸微光斑全自动切换500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm

• 探测系统：CCD，分辨率2nm

• 样品台：真空吸盘，Z轴行程40mm

• 光斑可视系统：CCD摄像机-视野1.33x1 mm-分辨率10µm

• 量角器：固定角70°，也可选择66°或61.5°

• 多种附件可选

• 测试时间：<2s，常规为5s

• 准确性：NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002

• 重复性：NIST 15nm ± 0.2 Å