先进电池材料产业集群大讲堂|XPS原理及技术特点

近年来随着科学技术的飞速发展，先进的表面分析技术已经成为材料、能源、催化、微电子以及半导体产业等领域中开展表面特性研究所必需的实验技术。X射线光电子能谱仪(XPS)作为表面分析领域重要的大型科学仪器，可以提供表面组分和化学态信息，广泛应用于科学研究和高科技产业等领域，对解决复杂问题具有重要的作用。

应清华大学深圳国际研究生院邀请，鞠焕鑫博士做客先进电池材料产业集群大讲堂，开讲X射线光电子能谱**课。在**课中鞠焕鑫博士讲解了光电子能谱的基本原理以及技术特点，并介绍了微聚焦扫描型XPS在微区分析和深度分析中的应用。

清华大学深圳国际研究生院材料与器件检测技术ZX于2008年成立，2013年通过ZG合格评定国家认可委员会(CNAS)认可，2016年通过加拿大标准协会(CSA)授权。检测ZX是向校内外科学研究和品质鉴定提供公证、权威测试数据能力的重要机构。目前，检测ZX拥有两大技术平台：材料测试分析平台与电池测试平台。各平台拥有完善的检测设备，总价值逾亿元。其中来自ULVAC-PHI公司的扫描聚焦型X射线光电子能谱是谱学平台中非常重要的分析设备，该设备不仅能够满足材料和器件表面成分和价态定性、定量分析，还可以实现微米级别的化学态空间成像以及多种刻蚀模式的深度分析。