PHI XPS 发展历程

1969年5月，表面分析技术领域的翘楚—PHI（Physical Electronics）公司应运。作为专注于表面分析仪器开发和制造的企业，PHI在半个多世纪的发展中，始终秉承探索不息、创新不止的精神，为广大高科技领域的用户提供全面的表面分析解决方案。在不懈的追求中，PHI已然成为行业内的佼佼者，以其卓越的技术和优质的服务赢得了广泛赞誉。

X射线光电子能谱（XPS）是基于光电效应原理，利用X射线照射样品激发光电子，通过能量分析器检测出射光电子，获取样品表面的元素组成、化学态和相对含量信息。XPS已成为表面分析领域不可或缺的重要工具，不仅能在微观尺度上深入探究元素和化学态的空间分布（包括横向和纵向），还能实时追踪器件在原位外场条件下的动态变化过程。PHI公司作为XPS技术的先驱者之一，其在该领域的研发历程堪称科技创新的典范。接下来，让我们共同回顾PHI XPS的辉煌发展历程，感受科技创新带来的震撼与力量。

1972年，PHI公司成功推出了首台商用的XPS—PHI 548。这一里程碑式的成就标志着公司在表面分析技术领域的重大突破。

图1. PHI 548

PHI于1976年推出了550/555型号，紧接着在1981年又推出了560型号，每一款产品的问世都进一步巩固了公司在行业内的领先地位。

随后，在1983年至1997年间，PHI公司更是推出了备受瞩目的5000系列XPS，这一系列的发布不仅彰显了公司强大的研发实力，更为广大用户提供了更为先进、全面的表面分析解决方案，进一步推动了表面分析技术的发展与应用。

图2. PHI 5000系列

为满足日益增长的微区分析需求，PHI公司积极投身于扫描微聚焦型XPS的研发。经过不懈努力，1996年，公司成功推出了全球首台扫描微聚焦型XPS——PHI Quantum 2000扫描微探针系统，这一创新产品为微区分析领域带来了革命性的突破。

图3. PHI Quantum
2000 Scanning ESCA Microprobe

PHI公司再接再厉，在2002年推出了Quantera SXM，将微区束斑尺寸提升至了9微米，进一步提升了微区分析的精度和效率。而在2010年，公司又推出了Quantera Ⅱ，将微区束斑尺寸进一步缩小至7.5微米，这一成就再次巩固了PHI公司在表面分析技术领域的领先地位。

图4. PHI Quantera系列

面对复杂科学问题的研究，开发一套全面且多功能的XPS系统显得尤为关键。在这一领域，PHI公司凭借其深厚的研发实力，成功打造了PHI Verasaprobe系列平台：自2006年起PHI Verasaprobe I在诞生之初便引起了广泛关注；2011年，PHI Verasaprobe II的推出进一步提升了系统的性能与功能；2016年，PHI Verasaprobe III的问世再次刷新了行业标准；而在2021年，PHI Verasaprobe 4的亮相则标志着该系列达到了新的高度。PHI Verasaprobe系列凭借出色的性能与多样化的功能，充分满足了市场对于多功能平台的迫切需求，赢得了广大用户的广泛赞誉，并成功售出400余台设备，市场表现卓越。

在PHI Verasaprobe系列的研发历程中，PHI公司屡创佳绩，开创多个行业先河，例如：

2008年，PHI公司成功将气体团簇离子枪应用于有机深度剖析；

2010年，PHI公司再次引领行业潮流，率先将C60团簇离子枪引入XPS系统；

2016年，PHI公司继续发挥创新精神，成功将商业化低能量反光电子能谱（LEIPS）引入XPS系统。

图5. PHI VersaProbe系列

随着科学问题的日益复杂化，如何将表面分析技术推向“更深层次”的探索，已然成为业界共同追求的目标。2017年，PHI公司成功推出了全球首台实验室扫描微聚焦型硬X射线光电子能谱——PHI Quantes产品。这款创新产品同时配备了硬X射线（Cr Kα）和软X射线（Al Kα）两种单色化X射线源，显著地将XPS的探测深度从原先的10纳米拓展至30纳米，从而实现了对材料内部更深层次信息的无损精确探测，为科研工作者提供了更为全面和深入的表面分析解决方案。

图6. PHI Quantes

纵观PHI XPS设备发展历程，每一个系列都凝聚了技术的精华与创新的智慧。其中PHI Quantera系列以其全自动化高性能的卓越表现引领行业，PHI Versaprobe系列以其多功能性脱颖而出，PHI Quantes则以硬X射线技术赋能无损深度分析成为了XPS领域的标杆。

2022年，PHI公司推出了集众多优秀特征于一体的PHI GENESIS这一革命性的新品。PHI GENESIS不仅实现了全自动化高通量测试，大幅提升了测试效率；更拥有极致的微区分析能力，其最小束斑尺寸达到≤5 μm，为微观尺度的研究提供了前所未有的精确度；还可集成丰富的功能配件，如UPS、LEIPS、GCIB、AES和REELS等，满足不同领域和多样化测试需求。在科研领域，常常需要在不同需求间找到平衡点，但PHI GENESIS的出现，却打破了这种传统的妥协模式。它既保证了高精度的分析性能，又提供了便捷的操作体验，无需在功能和易用性之间做出牺牲。因此，可以说PHI GENESIS为科研工作者带来了前所未有的便利和强大支持，让他们在科研道路上能够更加从容地前行，探索更多未知的领域。

图7. PHI GENESIS

回顾PHI XPS的历史，可以说是一部不断创新、不断超越的传奇。未来，PHI公司将继续在XPS领域书写更加辉煌的篇章。