主要特点  紧凑  节约成本 技术参数  8英寸不锈钢球形真空腔体  本底真空：<1×10-10 mbar  四轴样品台： • X/Y: ±7.5mm; 精度: 50µm • Z: 150mm; 精度: 100µm • 旋转: 360°, 精度 0.1° • 电子束加热至2000℃ • 辐射加热至1000℃ • 液氮冷却至-170℃  蒸发源：最多5个  离子枪：RBD IG2 离子枪, 配X-Y方向波纹管调节  系统尺寸: 1500*600*1750（mm） 可选项  膜厚检测  红外测温  反射高能电子衍射