电子束加热蒸发源控制器 主要特点  基于嵌入式ARM+Linux操作平台 • 7” LCD触摸屏 • 高度集成化设计: 高压、灯丝输出，束流测量 • 多模式工作：可独立作为高压电源使用 • 实时束流显示 • 远程控制及诊断 • 固件升级操作简单 • 多种接口类型：USB/Ethernet/RS232 • 高效风冷，智能风扇控制  多种工作模式 • 手动 • 恒高压 • 恒发射电流 • 恒功率 • 恒束流 • 外部控制  专利束流转换器 • 直接安装在蒸发源上，可最小化噪音及误差 • 内置放大器及数字变换器 • 超大束流检测范围: 100pA~1mA, 自动量程变换 • 超低