Technoorg Linda 离子研磨仪助力 SEM 观测更真实的样品表面

经过 Technoorg Linda SEMPerp2 离子研磨仪处理后，使用扫描电镜（SEM）观测可以得到更为真实的样品表面。

结束前工序的每一个晶圆上，都连接着 500~1200 个芯片（也可称作 Die）。为了将这些芯片用于所需之处，需要将晶圆切割（Dicing）成单独的芯片后，再与外部进行连接、通电。此时，连接电线（电信号的传输路径）的方法被称为引线键合（Wire Bonding）。

引线键合是把金属引线连接到焊盘上的一种方法，即把内外部的芯片连接起来的一种技术。从结构上看，金属引线在芯片的焊盘（一次键合）和载体焊盘（二次键合）之间充当着桥梁的作用。因此，键合的质量会直接影响产品的质量，通常会使用 SEM 进行观测。

通过直接机械研磨后进行检查无法观测到键合质量的好坏，经过 Technoorg Linda SEMPerp2 离子研磨处理后可以清晰地看到键合的质量。

Technoorg Linda 始创于匈牙利，专注于通过不断创新，提供全球最高质量，最易于使用和最可靠的研磨系统。

SEMPrep2 系列可以胜任各类复杂情况，全面兼容所有品牌电子显微镜。

SEMPrep2 标配 2keV-16keV 高能离子枪，可以保证更快的研磨速度。搭配双离子枪设计，加速电压从 100eV 到 16keV 连续可调，满足多种样品场景。

SEMPrep2 离子研磨仪搭配 30°，90°，平面样品台，满足多种样品测试需求。

SEMPrep2 系列可以在标准制冷，Peltier 电制冷，液氮 LN2 制冷中选配制冷配件。

• 标准制冷采用独家热导制冷技术，导热更快

• Peltier 电制冷最低制冷温度可达 -30 ℃

• 液氮 LN2 制冷最低制冷温度可达 -195 ℃

采用智能电脑控制系统，操作软件基于 Windows 系统，软件操作简单，方便远程操作。

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