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复纳科学仪器(上海)有限公司
主营产品:扫描电镜/离子研磨/TEM原位样品杆/ALD
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复纳科学仪器(上海)有限公司

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复纳科学仪器(上海)有限公司

可视化颗粒检测

 
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掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)
  • 品牌:Fastmicro
  • 型号:FM-PR-PDS
  • 产地:欧洲 荷兰
  • 高通量检测:每小时可检测 400 片晶圆(WPH) 数据输出:根据 ISO 14644-9 标准,在用户界面和 PDF 报告输出 SCP 等级 正反两面检测:单次测量中完成正反两面检测(无需翻转)...

晶圆表面颗粒物快速检测系统(PDS)
  • 品牌:Fastmicro
  • 型号:FM-W-PDS
  • 产地:欧洲 荷兰
  • 高通量检测:每小时可检测 400 片晶圆 最小检测颗粒:100 nm 尺寸:支持 4/6/8/12 英寸晶圆 位置精度:重复定位精度 15 um 检测:同时检测正反两面,无需翻面

仪器表面颗粒物分析仪
  • 品牌:Fastmicro
  • 型号:FM-PS-SAS-V01
  • 产地:欧洲 荷兰
  • 符合 ISO 14644-9 标准:在用户界面生成具有认证的 PDF 报告 检测范围:可检测低至 0.5 um 颗粒 稳定:90% 采集效率 | >90% 重复性 快速:10 秒完成检测

环境落尘颗粒实时监控仪
  • 品牌:Fastmicro
  • 型号:Fastmicro-PFS
  • 产地:欧洲 荷兰
  • 数据输出及可视化:符合 ISO 14644-17 标准 高通量检测:可检测低至 0.5 um 颗粒 快速:10 秒完成 2 英寸面积检测 定量:适用于生产与研发环境的验证与监测