Fastmicro 掩膜版｜保护膜表面颗粒物快速检测系统（PDS）
为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板（衬底）制造工艺，提供高通量的表面颗粒污染检测服务。
该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度，是一种高效且提供全方位服务的选择。它能以手动或自动的操作方式，以及较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统。
产品特点：
高通量检测：每小时可检测 400 片晶圆（WPH）
数据输出：根据 ISO 14644-9 标准，在用户界面和 PDF 报告输出 SCP 等级
正反两面检测：单次测量中完成正反两面检测（无需翻转）
检测范围：能够检测 ≥ 0.1µm 聚苯乙烯乳胶（PSL）等效颗粒（经 NIST 认证）
生产过程中的一致性测量
快速: 能在数秒内完成大面积成像
定量: 适用于生产和研发环境中的质量鉴定与监测
操作简便: 不受操作人员影响，自动化，洁净抓取方式
精准: 高分辨率测量（数量、位置、尺寸）
一致性: 每次测量都保持客观、稳定
高通量: 能在工艺时间窗口内得出结果
FM-PDS: 直接检测表面颗粒
该系统可为晶圆制造工艺、下一代化合物半导体以及先进封装应 用，提供高通量的表面颗粒污染检测服务。
该系统对粒径大于 0.1μm 的颗粒具有高灵敏度，是一种高 效且提供全方位服务的选择。
它能以手动或自动的操作方式，以及 较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统。
对于下一代半导体生产应用， PDS 系统具备独特的属性：双面同 时扫描（选配）；
静态视场扫描（在图像采集过程中无需移动产品）。
多功能模块化平台
系统专为直接测量 DUV（深紫外）和 EUV（极紫外）掩膜版保 护膜、掩模版或其他类型基板表面的颗粒污染水平而研发。
该系统可根据需要客户需求进行定制和扩展。测量模块也可为系 统集成商和原始设备制造商（OEM）提供贴牌服务
报价：面议
已咨询378次可视化颗粒检测
报价：面议
已咨询231次磁控溅射镀膜
报价：面议
已咨询410次可视化颗粒检测
报价：面议
已咨询3410次样品制备
GAIA 超分辨率点重扫共聚焦显微镜是 Confocal.nl 推出的旗舰超分辨率共聚焦模块，得益于专利的 REscan（重扫描技术），GAIA 超分辨率点重扫共聚焦显微镜仅需几纳瓦的功率即可实现超越衍射极限的深度成像。 1. 超分辨率成像：得益于专利的 REscan 技术，GAIA 超分辨率的实时分辨率可达 170 nm，解卷积后可达 120 nm。 2. 可变针孔：搭配 6 个电动可变针孔，使得设备在各种物镜下均可达到完美共焦 3. 成像温和：仅需几纳瓦的功率即可实现超越衍射极限的深度成像，成像温和，适合长时间活细胞超分辨率成像。
1. 深层成像：无针孔串扰现象，更适合于深度成像，最高可达 900 μm 2. 超快成像：采用狭缝针孔的线性扫描，拥有媲美转盘式共聚焦的扫描速度（>100 fps @ 3Kx3K） 3. 超大视场：远高于传统共聚焦的视场大小，最大支持 FN29 4. 可变针孔：唯一拥有 6 个电动可变针孔的高速共聚焦系统，针孔在各种物镜下均可达到完美共焦 5. 低光毒性：更低的光毒性和光损伤，适合长时间的活体成像
NL5+ 深层高速线重扫共聚焦显微镜是 Confocal NL 推出的首款线重扫共聚焦模块，采用狭缝针孔和 REscan（重扫描技术），拥有媲美转盘式共聚焦的扫描速度，且图片质量更好，成像深度更深，适用于高速、深层的 3D 成像，并显著降低光毒性和光漂白。 1. 深层成像：无针孔串扰现象，更适合于深度成像 2. 超快成像：75 fps@2048x512 px，55 fps@2048x2048 px 3. 低光毒性：更低的光毒性和光损伤，适合长时间的活体成像
ICSPI REDUX 原子力显微镜是一款基于芯片化技术（AFM-on-a-chip）的台式纳米表征设备，集高自动化、快速扫描与易操作性于一体。系统无需复杂光学调节与激光对准，即可实现亚纳米级分辨率的三维形貌成像与定量分析，广泛适用于材料科学、半导体、生命科学及教学实验等场景。
nGauge AFM 是由 ICSPI 开发的一款芯片式原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM）。该系统基于专利 CMOS-MEMS 技术，将传统 AFM 的扫描器、传感器和执行机构全部集成在一块微型 MEMS 芯片上，实现了真正的小型化、自动化和便捷化的纳米级测量解决方案。
ParticleX Battery 锂电清洁度分析系统是一款面向锂离子电池材料与制造环节的全自动清洁度检测设备。系统基于 SEM 与 EDS 技术，可自动识别并定量分析正负极材料中的金属、磁性杂质颗粒，帮助精准溯源杂质来源，降低安全与一致性风险。系统支持无人值守运行，采用 3000 小时长寿命 CeB6 晶体灯丝与高通量设计，兼顾效率与稳定性，并已与锂电龙头企业共建清洁度检测方法与评价标准，支持上下游统一对标与质量控制。
Phenom Pure 标准版是一款专为高分辨率成像设计的智能台式扫描电镜，采用独家 CeB₆ 长寿命灯丝，分辨率优于 10 nm，具备 15 秒抽真空、30 秒成像的行业领先速度。设备支持升级至 Phenom Pro/ProX，可扩展至二次电子探测和能谱分析。凭借自动化硬件平台、直觉式操作界面、防震防磁设计与极低的安装要求，任何人都可在 30 分钟内上手使用。Phenom Pure 以高成像质量、极致易用性和卓越稳定性，成为科研、教学及工业质控中最佳性价比的台式扫描电镜选择。
为质控与研发打造的自动化台式扫描电镜 Phenom XL G3 是 Thermo Scientific 旗下的旗舰级台式扫描电镜平台，基于飞利浦—FEI—赛默飞近 80 年电镜技术积淀打造。其稳定可靠、易部署、自动化程度高，专为 生产质控、高通量检测与研发场景 而设计。 大仓室设计，可容纳 36 个样品，1 分钟完成装样到出图，自动化、AI 分析、能谱一体化，3000h CeB6 灯丝，平均 5 年更换一次，适用于金属、电子陶瓷、半导体、粉末、滤膜、电池材料等多行业。
荷兰Fastmicro
营业执照已审核
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