nGauge 便携式原子力显微镜（AFM）

芯片式原子力显微镜｜便携式纳米表征设备

nGauge AFM 是由 ICSPI 开发的一款芯片式原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM）。该系统基于专利 CMOS-MEMS 技术，将传统 AFM 的扫描器、传感器和执行机构全部集成在一块微型 MEMS 芯片上，实现了真正的小型化、自动化和便捷化的纳米级测量解决方案。

与传统原子力显微镜相比，nGauge AFM 不再需要复杂的激光对准系统和繁琐的调节流程，可在空气环境中直接进行纳米尺度表面形貌测量，极大降低了使用门槛。

该设备广泛应用于：

• 纳米材料研究
• 半导体器件表征
• 薄膜与表面结构分析
• 生物材料研究
• 教学实验与科研培训

凭借快速扫描、易用操作和便携设计，nGauge AFM 正成为越来越多实验室的纳米表征工具。

产品特点
1 芯片式 AFM 技术（CMOS-MEMS）

nGauge AFM 采用 ICSPI 专利 CMOS-MEMS 集成技术，将：

• AFM 探针
• 压阻传感器
• XY 扫描器
• Z 执行器

全部集成在 1 mm × 1 mm 的 MEMS 芯片上。

这种设计彻底改变了传统 AFM 依赖复杂机械结构和光学系统的方式，使原子力显微镜更加紧凑、稳定且易于使用。

优势：

• 无需激光对准
• 系统稳定性高
• 维护需求低
• 操作简单

2 快速获取纳米级数据

nGauge AFM 可以在 约 2 分钟内完成数据采集，显著提高实验效率。

扫描模式包括：

• 形貌（Topography）
• 相位（Phase）

扫描速度：

• 快速扫描：16 s
• 常规扫描：80 s
• 高分辨扫描：约 5 min

适用于需要高通量纳米表征的实验场景。

3 简单易用的自动化操作

传统 AFM 往往需要复杂的安装和调节过程，而 nGauge AFM 采用自动化设计：

• 三次点击即可开始扫描
• 自动化扫描流程
• 无需复杂培训

用户通常 1 小时内即可掌握基本操作。

4 台式便携设计

nGauge AFM 体积小巧，仅：

• 尺寸：9 cm × 7 cm × 7.5 cm
• 重量：500 g

可以轻松部署在：

• 实验室桌面
• 教学实验室
• 移动实验平台

特别适合 科研教学、现场测试和小型实验室应用。

5 长寿命 AFM 探针

ICSPI AFM 探针采用耐磨材料制造，例如：

• 类金刚石碳（DLC）
• 氧化铝

探针寿命可超过 1000 次扫描，显著降低运行成本。

技术参数
扫描性能

扫描速度

样品规格

XY 平台（可选）

光学显微镜（可选）

系统参数

电源

nGauge AFM 与传统 AFM、SEM 对比

典型应用

nGauge AFM 可用于多种纳米尺度研究：

材料科学

• 纳米结构表征
• 薄膜粗糙度测量
• 表面形貌分析

半导体与电子

• 微纳器件表征
• 芯片表面检测
• 微结构分析

生命科学

• 生物材料表面结构
• 细胞膜形貌

教育教学

• 纳米科学实验教学
• AFM 原理教学

用户与机构

nGauge AFM 已被众多科研机构和企业采用，包括：

• 3M
• Thermo Fisher Scientific
• University of Waterloo
• Toshiba
• University of Texas at Austin
• Seagate
• University of California Berkeley
• Boeing
• Rigetti
• BAM
• Osaka University

关于 ICSPI

ICSPI 是一家专注于 芯片式原子力显微镜技术（AFM） 的纳米仪器公司，总部位于加拿大。公司拥有顶尖工程团队，致力于开发基于 CMOS-MEMS 技术 的纳米计量解决方案，使纳米级测量工具更加普及和易用。

ICSPI 于 2017 年推出 nGauge AFM，实现了 单芯片原子力显微镜系统的商业化，为科研机构、企业实验室和教育领域提供了全新的纳米表征平台。