电子半导体失效分析-离子研磨抛光仪
SEMPREP SMART电子半导体失效分析-离子研磨抛光仪离子研磨仪配备了高能量和可选的低能量氩离子枪。这款设备是用于扫描电子显微镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)样品的最终加工和清洁的理想选择。离子加工可以改进和清洁机械抛光的 SEM 样品并为 EBSD 分析制备无损表面。该设备还适用于快速截面加工。为您制备高精度和高质量的样品，例如在半导体测试或锂离子电池隔膜的截面检查中均能实现出色的效果。
主要特点：
先进的离子枪设计和自动化功能
新型用户友好操作软件:为用户提供智能辅助
更精确的针阀:允许对气流进行精细调整
高精度可调性:用于精细调节操作
更长寿命高真空传感器
产品功能：
可选低能枪（LEG）
可选的新型 LN2 冷却系统
可选真空转移装置 (VTU)，用于在真空条件下取出样品
独立的对位样品台：在进行 90° 加工时用于精确样品定位
技术参数：
离子枪：
超高能量离子枪，最高可达 16 keV
样品尺寸
截面样品台（可选 30°、90°样品台）：
30°样品台：最大尺寸16.4mm (长) x 16mm (宽) x 3.1mm (厚)
90°样品台：最大尺寸18.6mm (长) x 16mm (宽) x 6mm (厚)
用于表面加工（EBSD）的平面样品台，配有三种不同的头部类型
• 平头型：最大直径 50mm x 4mm
• 标准型：最大直径 32mm x 15mm
• 空心型：最大直径 25mm x 23mm
样品台移动
• 样品倾斜角度：0° 至 30°，每 0.1° 连续可调
• 样品旋转角度调节：360 可变速样品旋转，角度速度可调
• 样品加工摆角（摇摆）：±10° 至 ±120°，每 5° 连续可调
样品冷却（可选）
液氮冷却或 Peltier 冷却
真空系统
无油隔膜泵和分子泵
气体供应系统
纯度为 99.999% 的氩气工作气体，高精度针阀流量控制
分子泵
HiPace 80 Neo.
成像系统
500万像素CMOS相机，具有图像内的测量功能
计算机控制
易于使用的图形界面，自动化离子枪操作和样品台 位置校准
使用氩离子束进行加工
【新品】Technoorg Linda电镜制样设备SEMPREP SMART 离子研磨仪
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GAIA 超分辨率点重扫共聚焦显微镜是 Confocal.nl 推出的旗舰超分辨率共聚焦模块，得益于专利的 REscan（重扫描技术），GAIA 超分辨率点重扫共聚焦显微镜仅需几纳瓦的功率即可实现超越衍射极限的深度成像。 1. 超分辨率成像：得益于专利的 REscan 技术，GAIA 超分辨率的实时分辨率可达 170 nm，解卷积后可达 120 nm。 2. 可变针孔：搭配 6 个电动可变针孔，使得设备在各种物镜下均可达到完美共焦 3. 成像温和：仅需几纳瓦的功率即可实现超越衍射极限的深度成像，成像温和，适合长时间活细胞超分辨率成像。
1. 深层成像：无针孔串扰现象，更适合于深度成像，最高可达 900 μm 2. 超快成像：采用狭缝针孔的线性扫描，拥有媲美转盘式共聚焦的扫描速度（>100 fps @ 3Kx3K） 3. 超大视场：远高于传统共聚焦的视场大小，最大支持 FN29 4. 可变针孔：唯一拥有 6 个电动可变针孔的高速共聚焦系统，针孔在各种物镜下均可达到完美共焦 5. 低光毒性：更低的光毒性和光损伤，适合长时间的活体成像
NL5+ 深层高速线重扫共聚焦显微镜是 Confocal NL 推出的首款线重扫共聚焦模块，采用狭缝针孔和 REscan（重扫描技术），拥有媲美转盘式共聚焦的扫描速度，且图片质量更好，成像深度更深，适用于高速、深层的 3D 成像，并显著降低光毒性和光漂白。 1. 深层成像：无针孔串扰现象，更适合于深度成像 2. 超快成像：75 fps@2048x512 px，55 fps@2048x2048 px 3. 低光毒性：更低的光毒性和光损伤，适合长时间的活体成像
ICSPI REDUX 原子力显微镜是一款基于芯片化技术（AFM-on-a-chip）的台式纳米表征设备，集高自动化、快速扫描与易操作性于一体。系统无需复杂光学调节与激光对准，即可实现亚纳米级分辨率的三维形貌成像与定量分析，广泛适用于材料科学、半导体、生命科学及教学实验等场景。
nGauge AFM 是由 ICSPI 开发的一款芯片式原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM）。该系统基于专利 CMOS-MEMS 技术，将传统 AFM 的扫描器、传感器和执行机构全部集成在一块微型 MEMS 芯片上，实现了真正的小型化、自动化和便捷化的纳米级测量解决方案。
ParticleX Battery 锂电清洁度分析系统是一款面向锂离子电池材料与制造环节的全自动清洁度检测设备。系统基于 SEM 与 EDS 技术，可自动识别并定量分析正负极材料中的金属、磁性杂质颗粒，帮助精准溯源杂质来源，降低安全与一致性风险。系统支持无人值守运行，采用 3000 小时长寿命 CeB6 晶体灯丝与高通量设计，兼顾效率与稳定性，并已与锂电龙头企业共建清洁度检测方法与评价标准，支持上下游统一对标与质量控制。
Phenom Pure 标准版是一款专为高分辨率成像设计的智能台式扫描电镜，采用独家 CeB₆ 长寿命灯丝，分辨率优于 10 nm，具备 15 秒抽真空、30 秒成像的行业领先速度。设备支持升级至 Phenom Pro/ProX，可扩展至二次电子探测和能谱分析。凭借自动化硬件平台、直觉式操作界面、防震防磁设计与极低的安装要求，任何人都可在 30 分钟内上手使用。Phenom Pure 以高成像质量、极致易用性和卓越稳定性，成为科研、教学及工业质控中最佳性价比的台式扫描电镜选择。
为质控与研发打造的自动化台式扫描电镜 Phenom XL G3 是 Thermo Scientific 旗下的旗舰级台式扫描电镜平台，基于飞利浦—FEI—赛默飞近 80 年电镜技术积淀打造。其稳定可靠、易部署、自动化程度高，专为 生产质控、高通量检测与研发场景 而设计。 大仓室设计，可容纳 36 个样品，1 分钟完成装样到出图，自动化、AI 分析、能谱一体化，3000h CeB6 灯丝，平均 5 年更换一次，适用于金属、电子陶瓷、半导体、粉末、滤膜、电池材料等多行业。
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