浅谈冷水机在真空镀膜工艺中的作用

　　冷水机是一种水冷却设备，能提供恒温、恒流、恒压的冷却水设备。其工作原理是先向机内水箱注入一定量的水，通过制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备，冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，达到冷却的作用。冷却水温可根据要求自动调节，长期使用可节约用水。

　　冷水机能控制真空镀膜机的温度，以保证镀件的高质量。如果不配冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、GX率控制温度的目的，因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。

　　冷水机具有完全独立的制冷系统，绝不会受气温及环境的影响，水温在5℃～30℃范围内调节控制，因而可以达到高精度、GX率控制温度的目的，冷水机设有独立的水循环系统。

　　真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，果如真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。

　　你中频设备必须加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。

　　（主要是圆柱靶）为什么也要用水冷却?磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形，所以它有一个水套来冷却射枪。同时还有一个重要原因磁控溅射可以被认为是镀膜技术中Z突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好。

　　从更深层次研究电子在非均匀电磁场中的运动规律,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。磁控溅射可以被认为是镀膜技术中Z突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定。

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