日本JEOL 扫描电子显微镜 JSM-IT500

JSM-IT500 扫描电子显微镜

JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。 从设定视野到生成报告，用于分析的软件整合于一体，加快了作业速度！是一款无缝操作，使用更加方便的扫描电子显微镜。

主要技术指标

图像倍率：

。3.0 nm (30 kV)  15.0 nm (1.0 kV)

。4.0 nm (30 kV BED) 

。×5～×300,000
  （以128 mm × 96 mm 作为显示尺寸规定放大倍率）

显示倍率：

。×14～×839,724
  显示器上的图像倍率（以358 mm × 269 mm 作为显示尺寸规定放大倍率）

电子枪：钨灯丝 电子枪完全自动合轴

加速电压：0.3kV～30kV

低真空压力设定：

。范围※1 ：分辨率 高真空模式

。物镜光阑：低真空模式*1

。自动功能：灯丝调整、电子枪合轴调整，聚焦、像散、衬度/亮度调整

。最大样品尺寸：

       （1）200 mm直径×75 mm高度

       （2）200 mm直径×80 mm高度※选配件

       （3）32 mm直径×90 mm高度 ※选配件

。样品台：大型全对中式

      X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm

      倾斜：－10～90°　旋转：360°

。图像无缝拼接功能：标配

。显示测试位置座标：直径203 mm

。标准菜谱：有（包括EDS条件 ※2）

。图像模式：二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、阴影像*1等

。获取图像的像素数：640x480  1,280x960 2,560x1920  5,120x3,840

。OS：Microsoft®Windows®10 64bit 

。显示器：23寸触摸屏

。EDS 功能*2：谱图分析、定性分析/定量分析、线分析（水平线分析、任意方向线分析）元素面分布、电子束追踪等

。测长功能：有（两点间距离、平行线间距离、角度、直径等）

。数据管理功能：SMILE VIEW™ Lab

。生成报告功能：SMILE VIEW™ Lab

。语言切换：可以在UI 上（日语/ 英语）

。抽真空系统：完全自动　TMP：1   台、RP：1台或2台※1 

备注：Windows10 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标

主要选配件

背散射电子检测器（BED) ※1

低真空二次电子检测器（LSED)能谱仪(EDS)※2

波谱仪（WDS）

电子背散射衍射检测器(EBSD)

加载互锁真空室（预抽室）

样品台导航系统（SNS）

样品室观察系统(CS)

操作面板

3D测量软件操作台

※1 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
※2 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。

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