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LAURELL原装进口匀胶机WS65023N

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详细介绍

LAURELL原装进口匀胶机WS65023N

匀胶机(英文名:Spin   Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 
详细介绍: 匀胶机(英文名:Spin   Coater)   
行业俗称:匀胶台,甩胶机,涂胶机,镀膜机,涂层机    

品牌   LAURELL
型号   WS-650-23N  WS-650-8N   WS-650-15N

产品概述:  
WS650
型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.  
匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是WS650型均匀胶机的特点.  
该机在这方面采取了许多措施:  
(
)该设备采用美国先进技术.  
(
)转速在12000/分范围内非常稳定.  
(
)本匀胶机采用PLC控制,速度无极调节.在启动之后,一般工艺先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.步骤转速及相应的时间分别可调.  
(
)本匀胶机采用直流驱动马达,超过10年的使用历史
(
)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.
  
(
)智能型调节匀胶时间,数字显示
(
)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度.
 
(
)匀胶机配真空泵使用. 

 性能指标:  

高性能马达驱动
旋转控制
Mz
型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM  (注 50RPM是最小稳定转速)
最大加速度:13000RPM/S;
转速误差:<±0.5RPM @8000RPM   NIST标准认证;
匀胶均匀性:1% @6 inch Wafer

电源电压:220V/   50Hz   
电机功率:200W   
适用:Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等匀胶.  
体积小,重量轻,操作简便 

客户参考:香港理工大学,香港科技大学,香港城市大学,北京大学,清华大学复旦大学,东南大学,北京工业大学,江苏工业大学,上海大学,北京科技大学,电子科技大学 ,ZG地质大学,厦门大学,天津大学,贵州大学,西南师范大学,香港电讯学院,陕西师范大学,北京石油化工学院,重庆西南大学,ZG地质大学,北京理工大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工程大学,武汉大学,西安交通大学,四川大学,四川师范大学,同济大学,天津大学,西南交通大学,南京大学,南京工业大学,华中科技大学,河南大学,郑州大学等。
ZG科学院上海硅酸盐研究所,华为集团、TCL集团等高校及半导体微电子行业.
主要市场
   
ZG、香港、韩国 、新加坡、美国 等国家 
产品用途: WS650型匀胶机适合半导体硅片,晶片,基片,导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.  
请与迈可诺技术有限公司 ZG营销服务中心联系

产品优势
MYCRO美国原装进口的旋涂仪,自1985年开始,我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统,目前客户已遍布全球。
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