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德国SUSS匀胶机/热板/显影机

面议 (具体成交价以合同协议为准)
德国suss LabSpin6/LabSpin8 欧洲 德国 2026-01-24 08:06:25
售全国 入驻:7年 等级:认证 营业执照已审核
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产品详情:

Substrates
 LabSpin 6: up to 150mm round or 100mm square substrates

 LabSpin 8: up to 200mm round or 150mm square substrates 

Motor
 Brushless E-motor with collection glass beaker 

 Spin speed: min 50 rpm 

max 8000 rpm (with 200mm chuck) 

 Acceleration: max 3000 rpm/s 

Controller
 Graphical User Interface: Touch panel with color display 

 Number programmable recipes: max 200
 Step number per recipe: max 40
 Loop function: repeats a set of process step 

Coater Options 

 Cover plate for additional functions 

 Resist dispense systems

   Pressurized syringe dispense 

   Full automatic dispense system 

 Edge Bead Removal (EBR) 

Developer Options
 Cover plate for additional functions 

 Developer dispense option
 DI-water dispense option
 Nitrogen Drying option



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香港壘為信息科技實業有限公司为你提供德国SUSS匀胶机/热板/显影机信息大全,包括德国SUSS匀胶机/热板/显影机价格、型号、参数、图片等信息;如想了解更多产品相关详情,烦请致电详谈或在线留言!
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1. 产品简介 WH-SC-01匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻的半导体工艺、制版、及表面涂覆等工艺,由汶颢股份自主研发,具有独立知识产权。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。 匀胶机具有快速启动、快速切换转速和转速稳定的性能,能够保证胶膜厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制,实现启/停可控,转速实时观察、三档转速可来回切换等功能,启动后在低速下进行匀胶,再切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调; 仪器配置了“安全开关”按钮,仪器运转时,上盖处于关闭状态,一旦上盖打开,将触发“安全开关”,仪器停止运转,起到保护作用。 2. 技术参数 转速:硅片4英寸(含)以内300-8500RPM;4英寸以上300-6000RPM 时间控制:1-32767s 转速稳定性:±1% 胶的均匀性:±3% 参数设定:触摸屏设置参数 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶 电源输入:AC220V±10V,50HZ 功率:60W 重量:13kg 外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D) 工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

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英国Ossila公司匀胶机,操作简单,方便实用,旋涂均匀,结构小巧紧凑,为实验室提供了理想的解决方案,其采用创新设计的非真空卡盘式旋涂吸盘,无需真空泵或充氮气,就能达到很好的旋涂效果。可对大小不同规格的基材都可进行旋涂,尤其是对超薄样品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄时同样能达到wan美的旋涂效果。不会出现真空吸盘旋涂较薄的基材衬底翘曲现象,影响涂层的均匀性。广泛应用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

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