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汶灏匀胶机

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详细介绍

1. 产品简介

WH-SC-01匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻的半导体工艺、制版、及表面涂覆等工艺,由汶颢股份自主研发,具有独立知识产权。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。
    匀胶机具有快速启动、快速切换转速和转速稳定的性能,能够保证胶膜厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制,实现启/停可控,转速实时观察、三档转速可来回切换等功能,启动后在低速下进行匀胶,再切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调;
    仪器配置了“安全开关”按钮,仪器运转时,上盖处于关闭状态,一旦上盖打开,将触发“安全开关”,仪器停止运转,起到保护作用。 

2. 技术参数

² 转速:硅片4英寸(含)以内300-8500RPM;4英寸以上300-6000RPM

² 时间控制:1-32767s

² 转速稳定性:±1%

² 胶的均匀性:±3%

² 参数设定:触摸屏设置参数

² 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶

² 电源输入:AC220V±10V,50HZ

² 功率:60W

² 重量:13kg

² 外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D)

² 工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %


产品优势
1. 产品简介
WH-SC-01匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻的半导体工艺、制版、及表面涂覆等工艺,由汶颢股份自主研发,具有独立知识产权。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。
匀胶机具有快速启动、快速切换转速和转速稳定的性能,能够保证胶膜厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制,实现启/停可控,转速实时观察、三档转速可来回切换等功能,启动后在低速下进行匀胶,再切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调;
仪器配置了“安全开关”按钮,仪器运转时,上盖处于关闭状态,一旦上盖打开,将触发“安全开关”,仪器停止运转,起到保护作用。
2. 技术参数
转速:硅片4英寸(含)以内300-8500RPM;4英寸以上300-6000RPM
时间控制:1-32767s
转速稳定性:±1%
胶的均匀性:±3%
参数设定:触摸屏设置参数
适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶
电源输入:AC220V±10V,50HZ
功率:60W
重量:13kg
外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D)
工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %
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