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微光显微镜PHEMOS系列
- 品牌:日本滨松
- 型号: PHEMOS-1000
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 滨松光子学商贸(中国)有限公司 更新时间:2024-02-04 13:42:48
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企业性质生产商
入驻年限第9年
营业执照已审核
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- 详细介绍
微光显微镜PHEMOS系列
PHEMOS-1000是一款标准型高分辨率微光显微镜,其包含了一个红外共焦激光显微镜。PHEMOS-1000可根据设备环境和设备装置来灵活改变包括插座板到300mm双面晶片探针等等的部件。它还可以适配高灵敏度近红外相机和高分辨率纳米透镜等选配件。该显微镜有多种选配,包括红外-光致阻值改变(IR-OBIRCH)分析、与大规模集成电路测试机连接和CAD导航功能等,这些选配有助于该显微镜处理多种测量需要。
黑盒照明灯含水银,请根据当地法规处理。
特性
可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜
红外共焦激光显微镜
红外-光致阻值改变(IR-OBIRCH)分析功能(选配)
低电压样品用高灵敏度近红外相机(选配)
数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力(选配)
可安装300mm双面半自动探针
显示功能
PHEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰,细节更多。
显示功能注释
图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。比例显示
可使用分段,在图像上显示比例宽度。栅格显示
图像上可现实水平和垂直栅格。缩略图显示
图像可以以缩略图的形式存储和调用,stage坐标等图像信息也可显示。分屏显示
模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。
参数
产品名称 PHEMOS-1000 探测目标 器件发光(发光探测功能)
电流改变(IR-OBIRCH功能)可用器件 300 mm 晶片
200 mm晶片
方块形芯片
切割后晶片、封装后器件(取决于探针和样品固定装置)适配探针 200/300 mm晶片用双面半自动探针*1
200/300 mm晶片用双面手动探针*1
200/300 mm晶片用半自动探针(正面观测)*1
200/300 mm晶片用手动探针(正面观测)*1尺寸/重量 主单元: 1360 mm (W)×1410 mm (D)×2120 mm (H), Approx. 900 kg*2
控制台:880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 255 kg
PC桌:1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg线电压 AC220 V (50 Hz/60 Hz) 功耗 3000W 真空度 约80 kPa 压缩空气 约0.5 MPa~0.7 MPa *1:根据需求选购。 *2:PHEMOS主单元重量包含一个探针或等效重量。