分享 收藏

中小型多功能等离子体清洗机PLUTO-30

品牌：上海PLUTOVAC
型号： PLUTO-30
产地：浦东新区
供应商报价：面议

上海沛沅仪器设备有限公司更新时间：2024-04-16 13:23:12

企业性质生产商

入驻年限第6年

营业执照已审核

同类产品等离子清洗机(4件)

标签：等离子清洗，等离子镀膜，等离子刻蚀，等离子表面处理

为您推荐

中小型多功能等离子体清洗机PLUTO-30 核心参数

自动化:	自动	样品腔尺寸:	300W x 280H x 366Dmm
样品腔容积:	30L	射频功率:	300W/500W
频率:	13.56MHz

详细介绍

中小型多功能等离子体清洗机PLUTO-30

中小型量产级多功能

Pluto30是专为研发而设计的全功能等离子体系统，13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体。Pluto 30的真空腔可支持多达7个可调节样品架，以容纳各种形状尺寸的样品。Pluto30具有多种电极设置，可配置成RIE和PECVD模式，从而扩大了该系统的应用范围，提供给用户无与伦比的灵活性。

Pluto30参数
腔体	腔体尺寸	300W x 280H x 366Dmm
	容量	30L
	电极数量	最多可达7层
电极	电极间隙	48mm
	功率电极尺寸	226W x 210D mm
	接地电极尺寸	260W x 210D mm
射频系统	射频功率和频率	300W/13.56MHz
气体控制	MFC控制器	标配1个MFC，最多4个MFC控制器
系统控制	7寸工业触控屏	全数字控制，实时显示工作状况，可设定操作权限和各种报警值，可储存工艺方案
真空泵系统	油泵	32m³/h
真空泵系统	功率	220V/10A，50Hz，单相，3线
尺寸	外形尺寸	706W x 804D x 735H mm
特别装置需求	工艺气体	0.25英寸. 气管快接.适用于 15-20psig;
	净化气	0.25英寸. 气管快接. 适用于10-100psig
	CDA	0.25英寸. 气管快接. 适用于60-90psig
	排气接口	KF40
可选项	液体前驱体输送系统
	500W/13.56MHz射频系统
	37m³/h 干泵
	排气洗涤器
	油雾消除器