Diener PICO 等离子清洗机
Diener PLASMA 大气压等离子清洗机
Diener ZEPTO Plasma 等离子清洗机
Diener FEMTO 微波等离子清洗机
PCE-8等离子清洗机
型号 | VPC-500F4 | ||
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) | |
PLC(标配)/PC(可选) | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 7寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W1150×D1400×H1720mm | |
腔体 | 尺寸 | W500×D486×H520mm | |
材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选) | ||
电极 | 结构尺寸 | 组合柜式, W398×D394×H425mm | |
分隔数量 | 4个料盒 | ||
托架 | 材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选) | |
形状 | 平板式/滚轮式(可选) | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个;Ar、N2、H2(可选) | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz,0~1000W | 13.56MHz,0~500W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 5KW | |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V | |
选购品 | 干式泵、双级旋片真空泵+罗茨泵(泵组)、托架、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件 | ||
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美国 Harrick PDC-32G-2 基本型等离子清洗机,该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。
美国 Harrick PDC-002 扩展型等离子清洗机,该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。
德国 PVA TePla 等离子清洗机PlasmaPen 常压等离子,通过清洁和活化材料表面来改善灌封化合物、粘合剂、油墨、涂料和染料等的浸润性。PlasmaPen™清洁后的表面保证了半导体封装工艺中打线和芯片键合的可靠性。它已经成功地应用于平板显示制造业中提高异方性导电胶膜(ACF)的粘合性。
等离子去胶工艺拥有低污染颗粒,低成本大规模量产,高均匀性与高可复制性等工艺特征。