控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

PLC

操作系统

Windows 10

触摸屏

15寸

整机规格

尺寸

W1000×D1650×H1650mm

腔体

尺寸

 Φ280×D550mm

材质

316不锈钢（标配）/铝合金（可选）

料道

料道数量

4个

料道宽度

30-80mm（可任意调节）

料道长度

100-2600mm（可任意调节）

UPH

300-500片/小时（清洗10秒，可根据工艺要求设置）

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC+浮子流量计

1路MFC，1路浮子流量计；Ar、N2、O2（可选）

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz，0~500W

13.56MHz，0~150W

额定功率

整机峰值功率

30KW

机台供电

单相三线式

AC-3800V

选购品

干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件