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苏州普乐斯大型真空等离子清洗设备
- 品牌:昆山普乐斯
- 型号:
- 产地:苏州
- 供应商报价: 面议
- 昆山普乐斯科技有限公司 更新时间:2023-03-13 15:47:37
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
型号
VPC-500F4
控制系统
控制方式
全自动控制(自动/手动切换)
PLC(标配)/PC(可选)
操作系统
Windows 10
触摸屏
7寸
整机规格
尺寸
W1150×D1400×H1720mm
腔体
尺寸
W500×D486×H520mm
材质
铝合金(标配)/不锈钢(可选)
电极
结构尺寸
组合柜式, W398×D394×H425mm
分隔数量
4个料盒
托架
材质
铝合金(标配)/不锈钢(可选)
形状
平板式/滚轮式(可选)
真空计
皮拉尼式真空计
1个
流量计
MFC质量流量控制器
2个;Ar、N2、H2(可选)
真空泵
机械油式旋片泵
1套
发生器
中频/射频
40KHz,0~1000W
13.56MHz,0~500W
额定功率
整机峰值功率
5KW
机台供电
三相五线式
AC-380V
选购品
干式泵、双级旋片真空泵+罗茨泵(泵组)、托架、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件
- 产品优势
- 触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操咋作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控,数据导出(可选)
特殊电极、气路设计,均匀性好
平板式、滚轮式载具平台(可选)
适用半导体封装引线框架的批量处理
自动化: | 自动 |