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苏州普乐斯大型真空等离子清洗设备

昆山普乐斯科技有限公司更新时间：2023-03-13 15:47:37

销售范围售全国

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产品特点

触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操咋作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控，数据导出（可选）
特殊电极、气路设计，均匀性好
平板式、滚轮式载具平台（可选）
适用半导体封装引线框架的批量处理

型号		VPC-500F4
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC（标配）/PC（可选）
	操作系统	Windows 10
	触摸屏	7寸
整机规格	尺寸	W1150×D1400×H1720mm
腔体	尺寸	W500×D486×H520mm
	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
电极	结构尺寸	组合柜式， W398×D394×H425mm
	分隔数量	4个料盒
托架	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
	形状	平板式/滚轮式（可选）
真空计	皮拉尼式真空计	1个
流量计	MFC质量流量控制器	2个；Ar、N2、H2（可选）
真空泵	机械油式旋片泵	1套
发生器	中频/射频	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~500W
额定功率	整机峰值功率	5KW
机台供电	三相五线式	AC-380V
选购品	干式泵、双级旋片真空泵+罗茨泵（泵组）、托架、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件

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