常州普乐斯大气压等离子清洗机RTR100L-W500

控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

PLC（标配）/PC（可选）

操作系统

Windows 10

触摸屏

7寸

整机规格

尺寸

W6900×D1650×H1150mm

腔体

处理宽幅

<520mm

材质

铝合金（标配）/不锈钢（可选），腔体3段式

冰水机

通路

用于电源、电极、真空泵浦的冷却

供电

AC380V、3PH、50/60Hz、3KW

蚀刻能效

速率

≥0.5µm/Min

均匀性

≥90%

真空计

薄膜硅电容耐腐蚀

1个，0-10Torr

流量计

MFC

4个，量程0-2000ml/min

真空泵

干泵机组（螺杆泵+罗茨泵）

1套，120m3/h+1800 m3/h；极限真空值≤50mTorr

发生器

中频

40KHz，20KW

温度控制系统

过程温度控制

30-150℃恒定可控

张力控制系统

数显张力

-

其它

工艺气体：14MPa减压至0.3MPa，O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999%

气体压力：0.2MPa≤气源≤1MPa；气源压力：0.3-0.8MPa；气源纯度：无油无水干燥气体；工作环境温度：≤30℃；冻水流量：5 SLM；干燥Air/N2流量：17 SLM