普乐斯台式等离子清洗机PM/R-60LN

控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

PLC（标配）/PC（可选）

操作系统

Windows 10

触摸屏

7寸

整机规格

尺寸

W760×D1050×H1700mm

腔体

尺寸

 W400×D400×H400mm

材质

铝合金（标配）/不锈钢（可选）

电极

尺寸

W390×D317mm

层数

1-7层，可选

托架

材质

铝合金（标配）/不锈钢（可选）

层数

1层

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC

2个；Ar、N2、O2（可选）

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz，0~1000W

13.56MHz，0~500W

额定功率

整机峰值功率

3KW

机台供电

三相五线式

AC-380V

选购品

干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件