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椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
- 品牌:日本HalfMoon
- 型号: 1
- 产地:亚洲 日本
- 供应商报价:面议
- 上海瞬渺光电技术有限公司 更新时间:2022-01-12 15:50:35
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照
- 同类产品半导体研发测试(9件)
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详细介绍
产品特点:
?400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。
?自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据。
?采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度。
?搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。
?可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格:
样品对应尺寸 100×100mm 测量方式 偏光片元件回转方式 入射/反射角度范围 45~90o 入射/反射角度驱动方式 反射角度可自动变更 波长测量范围 300~800nm 分光元件 Poly-chrometer 尺寸 650(H)×400(D)×560(W)mm 重量 约50kg