NexION 300S ICP-MS 对光刻胶中的Si的分析

本文由 珀金埃尔默企业管理(上海)有限公司 整理汇编

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• NexION 300S ICP-MS 对光刻胶中的Si的分析

  使用ICP、ICP-MS分析时存在光学干扰，而仪器的结构又决定了Si的检出限比其他元素更高，所以为了分析低浓度的Si，必须去除光学干扰或更换仪器进样系统 ( 雾室、雾化器、ZX管、炬管 )。 本实验的目的是利用NexION 的 DRC模式确定分析Si的**条件。 [详细]

  2024-09-14 16:18

  应用文章

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• NexION 300S ICP-MS测定硅晶片中的杂质

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• NexION 300S ICP-MS测定半导体级TMAH中的杂质

  NexION 300S ICP-MS测定半导体级TMAH中的杂质[详细]

  2013-07-17 00:00

  其它

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• NexION 300S ICP-MS测定半导体级硝酸中的杂质

  NexION 300S ICP-MS测定半导体级硝酸中的杂质[详细]

  2024-09-12 18:28

  操作手册

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• NexION 300S ICP-MS测定半导体级硫酸中的杂质

  NexION 300S ICP-MS测定半导体级硫酸中的杂质[详细]

  2024-09-15 17:52

  期刊论文

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• NexION 300S 测定半导体级TMAH中的杂质

  四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种广泛用于半导体光刻工艺和液晶显示器生产中形成酸性光阻的基本溶剂，因此对TMAH纯度的检测变得越来越重要。由于具有快速测定各种工艺化学品中超痕量浓度待测元素的能力，电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）已成为了质量控制不可缺少的分析工具。然而，解决由基体带来的多原子干扰和由于含有碳造成的基体YZ效应是非常重要的。本应用报告证明了NexION?300SICP-MS去除干扰，从而在使用高温等离子体的条件下通过一次分析就能够对TMAH中全部痕量水平的杂质元素进行测定的能力。[详细]

  2018-08-17 10:00

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• 采用NexION 2000 ICP-MS分析尿液中的微量元素

  在检测尿液中的微量金属元素时主要需要攻克两大难关：基体产生的多原子离子干扰的存在和用于评估污染物接触的某些元素的含量极低，包括砷（As）、镉（Cd）、汞（Hg）等。PerkinElmerNexION2000ICP质谱仪（ICP-MS）的通用池系统具有标准（Standard）、碰撞（KED）和反应（DRC）三种模式，并具有三个气路，可选择的碰撞/反应气体种类也很丰富，所以NexION2000能够Z有效地排除干扰，准确地测定Zdi的浓度水平。[详细]

  2018-08-17 10:00

  产品样册

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• NexION 5000 ICP-MS在血液分析中的应用

  NexION 5000 ICP-MS在血液分析中的应用 [详细]

  2020-07-17 14:08

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• NexION 5000 ICP-MS在血液分析中的应用

  NexION 5000 ICP-MS在血液分析中的应用 [详细]

  2020-07-17 14:08

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• NexION 5000 ICP-MS在超纯水分析中的应用

  NexION 5000 ICP-MS在超纯水分析中的应用[详细]

  2024-09-13 05:07

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• NexION ICP-MS 分析啤酒花中的有毒和营养元素

  由于啤酒花和具有类似的化学和物理特性，所以啤酒花是普遍接受的替代品。本文讨论了采用ICP-MS 分析作为替代品的啤酒花中的有毒元素和营养元素。 结果表明，NexION ICP-MS 结合Titan MPS 微波系统能够有效地分析可作为替代品得啤酒花中的营养元素和有毒元素。分析采用碰撞和标准模式，完成每个样品分析仅需100 秒。通过分析各种NIST™ 标准植物 材料验证了所应用方法的准确度。[详细]

  2024-09-16 00:01

  应用文章

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• ICP-MS 用于NexION ICP-MS的全基体进样系统 (AMS)

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  2020-07-17 14:16

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• ICP-MS 用于NexION ICP-MS的全基体进样系统 (AMS)

  ICP-MS 用于NexION ICP-MS的全基体进样系统 (AMS) [详细]

  2024-09-10 22:38

  应用文章

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• 使用NexION 2000 ICP-MS分析饮用水和天然水

  本文介绍了NexION2000ICP-MS应用于U.S.EPA200.8方法时，在标准模式下分析天然水和饮用水样品的实例。通过多种有证标准物质和加标回收率的分析验证了方法的准确性，并通过至少九小时的分析验证了方法的稳定性。方法的检测下限完全可以满足200.8的要求。此外，智能电子稀释功能可以选择性地对某些待测元素的信号进行衰减，实现高低含量元素同步测定，可有效替代ICP-OES或火焰AA分析方法。NexION2000为U.S.EPA200.8方法提供了一套全面的解决方案。[详细]

  2018-08-17 10:00

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  GC/ ICP-MS对生物组织和沉积物中汞形态的分析[详细]

  2024-09-30 02:20

  产品样册

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• NexION 2000 ICP-MS 评估水样中锶双电荷对钙的影响 App Note(300005_CHN_01)

  利用ICP-MS检测痕量钙（Ca）一直是一个难点，由于Ca自然丰度Z高的同位素（96.9%）为40Ca，与40Ar为同质异位素，使用常规方法无法测定。所以，通常对Ca进行检测的标准方法中推荐的质量数，U.S.EPA200.8为43；国内HJ700-2014为44，测定下限为26.4μg/L。而43Ca和43Ca的自然丰度分别仅有0.14%和2.1%，在测定过程中由于灵敏度较低，且干扰消除不完全，容易导致检出限偏高、结果精密度差等缺点。 NexION2000ICP-MS的通用池技术可以使用各种高纯高反应性气体对质谱干扰进行去除，对于40Ca，可以使用1**%纯氨气（**电离能10.16eV）对40Ar（**电离能15.76eV）进行去除，获得亚ppb级的检出限。这得益于NexION2000可以调谐和优化通用池四极杆的RPq参数，使得高反应性气体的各种副产物干扰被彻底去除。 40Ar+ + NH3 → 40Ar + NH3+ ΔHr = ΔIP = -15.76 eV+10.16 eV = -5.60 eV ( 放热，反应自发进行) [详细]

  2019-01-14 13:44

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• NexION 2000 ICP-MS 评估水样中锶双电荷对钙的影响 Application Note (300005_CHN_01)

  NexION 2000 ICP-MS 评估水样中锶双电荷对钙的影响 Application Note (300005_CHN_01)[详细]

  2024-08-26 13:53

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• NexION 300 ICP-MS 分析电厂烟气脱硫废水的优势 Application Note (010397_01 _CN)

  NexION 300 ICP-MS 分析电厂烟气脱硫废水的优势 Application Note (010397_01 _CN)[详细]

  2024-09-28 13:35

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• NexION 5000 ICP-MS新一代创新接口设计的优势

  NexION 5000 ICP-MS在超纯水分析中的应用[详细]

  2024-09-13 23:05

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• NexION 300 ICP-MS 分析电厂烟气脱硫废水的优势 Application Note (010397_01 _CN)-1

  NexION 300 ICP-MS 分析电厂烟气脱硫废水的优势 Application Note (010397_01 _CN)-1[详细]

  2024-10-05 00:52

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